Gebraucht MATRIX 302 #293811877 zu verkaufen

Hersteller
MATRIX
Modell
302
ID: 293811877
Wafergröße: 6"
Dry etchers, 6" Modules: Process Operator interface Wafer transport Card reader Elevator Microprocessor control RF Generator DC Supply AC Distribution Gas distribution panel Temperature/Pressure control Vacuum hose Connectors Ballast assembly.
MATRIX 302 Ätzer/Ascher ist ein Hochleistungs-Bronzeätzer und Ascher für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es ist mit einer Reihe von Funktionen gebaut, um maximalen Durchsatz und Prozessintegrität zu gewährleisten. 302 verfügt über einen Hochleistungsrahmen aus Aluminiumdruckguss, der Steifigkeit und Haltbarkeit bietet. Es ist mit einem modularen Konzept konzipiert, das eine Vielzahl von Lösungen ermöglicht. Mit einem großen Arbeitsbereich kann MATRIX 302 eine breite Palette von Substraten bis 7,5 "(194mm) in der Größe und bis zu 20,4 lbs (9,2 kg) aufnehmen. Der Ätzer ist mit einem integrierten Kühlsystem temperaturgeregelt, das hilft, eine konsistente Temperatur über den Arbeitsbereich zu halten und Prozessstabilität zu gewährleisten. Seine PCL-gesteuerte Steuerung bietet dem Benutzer die Fähigkeit, viele der Prozessparameter, einschließlich Temperatur, Druck, Ätzzeit und Gasfluss, einzustellen; diese Kombination aus Steuerung und Flexibilität ermöglicht es dem Anwender, mehrere Prozesse gleichzeitig auszuführen. Der Ätzer ist mit einer einzigartigen Mehrdüsentrennfunktion ausgelegt, die die Gleichmäßigkeit durch Verringerung der Kreuzsättigung erhöht, während mehrere Düsen für einen weiten Bereich von Ätzraten zur Verfügung stehen. Zur Prozesssicherheit werden alle Gaseingänge durch einen Massenstromregler geleitet, der einen stabilen, gleichmäßigen Durchfluss von bis zu acht Gasen ermöglicht. Die große Kammer von 302 ist so konzipiert, dass sie schnell evakuiert wird, um eine hocheffiziente Prozesswende zu erzielen. Es bietet auch eine Oberkopfbeleuchtung, die eine einfachere Substratbelastung und Überwachung der Prozessentwicklung ermöglicht. Der Ätzer ist für eine relativ einfache Bedienung und Bedienung ausgelegt. Es ist mit einem Touchscreen-Steuer- und Überwachungssystem ausgestattet, mit dem Anwender Prozesse schnell und sicher einrichten können. Dieses System ermöglicht auch die Remote-Fehlerbehebung und Prozessüberwachung und beinhaltet einen Abschaltschutz im Falle einer unerwarteten Prozessunterbrechung. Der Ätzer MATRIX 302 ist für die schnelle Umdrehung von großvolumigen Aufträgen konzipiert. Es bietet eine vielseitige Konfiguration und niedrige Wartungskosten, so dass ein zuverlässiger Betrieb und eine lange Lebenszyklusleistung gewährleistet sind.
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