Gebraucht MATRIX 403 #14205 zu verkaufen
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ID: 14205
Etchers
200-240 Volts 50/60Hz 1 Phase
Temperature controlled chuck
Cassette loading
Capable of 4" to 6" wafers
Down Stream isotropic etcher for oxide, poly or nitride films
ENI OEM 6 13.56 MHz RF generator
BROOKS AUTOMATION 6100-36 handler
ENI OEM-6M-11781 generator.
MATRIX 403 Ätzer/Ascher ist ein fortschrittliches, multifunktionales Trockenätzwerkzeug, das für die fortschrittliche Produktionsindustrie entwickelt wurde. Es verfügt über eine Reihe einzigartiger Funktionen, wie fortschrittliche Software- und Hardwaretools, die es den Betreibern ermöglichen, ihre Produktionsanforderungen zu kontrollieren und die höchste Effizienz zu gewährleisten. 403 ist ein automatisierter Ätzer/Ascher, der sowohl für die Trockenätzverarbeitung als auch für das Aschen ausgelegt ist. Es verfügt über ein Einkammer-System mit einer 0,8 mm thermischen Grenzschicht des Schutzes, die gleichmäßige Ätz- und Aschetemperaturen von bis zu 1000 ° C ermöglicht. Dieses fortschrittliche Design ermöglicht eine maximale Ätzgleichmäßigkeit und eignet sich somit ideal für hochdetaillierte geätzte Muster in mehreren Substraten wie SiO2, SiN und SiSiC. MATRIX 403 ist für maximale Vielseitigkeit ausgelegt, mit integrierten Software- und Hardware-Tools zur vollständigen Kontrolle. Die Software ermöglicht komplexe Ätz- und Ascheprozesse wie isotropes Ätzen, Richtätzen und Prozessoptimierung. Vordefinierte Programme können einfach zur vollständigen Kontrolle der Ätz- und Ascheparameter implementiert werden. Die Hardwarekomponenten wie Kammer, Quelle und Target sind mit Touchscreens und leicht austauschbaren Komponenten ausgelegt, um die Produktivität zu maximieren und das Risiko von Kontaminationen zu reduzieren. Die ausgeklügelte Oberfläche und das Bedienfeld von 403 bieten ein vollständiges, benutzerfreundliches Erlebnis. Der Benutzer kann problemlos auf prozessbezogene Informationen und Parameter zugreifen, wodurch es einfach ist, den Prozess zu überwachen und die Einstellungen schnell anzupassen. Das System bietet auch Standardüberwachung und Feedback, die eine schnelle und effiziente Fehlerbehebung, die Optimierung der Prozesszeiten und die Verbesserung der Gesamteffizienz ermöglichen. Für maximale Sicherheit bietet MATRIX 403 eine Reihe von Notabschalt- und Entlüftungsmöglichkeiten sowie eine Hochdruckdichtung für die Kammerrückgewinnung. Das Ätz- und Aschesystem bietet zudem flexible Zeitpläne und Alarme, die einen automatischen Betrieb ermöglichen und fehlerhafte Teile erkennen. 403 ist eine große Ergänzung zu jeder Produktionsetage und eignet sich für eine breite Palette von Materialien und Substraten. Sein modernes Design, Sicherheitsfunktionen, leistungsstarke Werkzeuge und benutzerfreundliche Schnittstelle ermöglichen es den Betreibern, ihre Produktionsanforderungen schnell und effektiv mit den höchsten Effizienz- und Sicherheitsstandards zu erfüllen.
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