Gebraucht MATRIX Jaguar 300MM #9220309 zu verkaufen

MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher ist eine hochmoderne Ätz- und Aschevorrichtung, die speziell für das Ätzen und Aschen von großflächigen Substraten wie Wafern und gemusterten Substraten entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, Ätzungen bis zu einem Minimum von 0,6 um herzustellen und gleichmäßig geätzte Oberflächen über einen Bereich von großen Substraten zwischen 5 Zoll und 300 Millimeter Größe bereitzustellen. Das Gerät bietet eine Vielzahl von Ätzchemie einschließlich Salpetersalpeter, Fluorwasserstoff, Phosphor, Schwefel und viele mehr. Jaguar 300MM verwendet fortschrittliche Ätztechniken wie reaktives Ionenätzen, Elektronenzyklotronresonanz und Plasmaätzen, so dass der Benutzer den Ätzprozess auf optimale Geschwindigkeit, Qualität und Lokalität abstimmen kann. MATRIX Jaguar 300MM besteht aus verschiedenen Subsystemen wie Kassettenstufe, Gaskasten, Luft- und Pumpenversorgungsunternehmen, Kammer und einer fortschrittlichen Steuerungsmaschine. Die Cassette-Stage ermöglicht es dem Anwender, große Substrate zur Bearbeitung schnell und präzise in der Ätzkammer zu positionieren und besteht aus einem Nivelliermechanismus, einem Kassettengriff und einem Vakuumfutterwerkzeug. Die Gas Box liefert dosierte Düsen für die Einführung von Ätzchemikalien in die Kammer, und die verschiedenen Ventile und Regler ermöglichen Präzisionsgenauigkeit bei der Reaktion von Gasen und Ätzchemikalien. Die Luft- und Pumpenversorgungseinrichtungen des Modells bieten inerte und nicht inerte Atmosphären in die Kammer und bestehen aus einer luftstrahlgekühlten turbomolekularen Schrupppumpe, einer Titan-angetriebenen Rotationspumpe und einigen anderen Komponenten. Die Kammerausrüstung ist eine kundenspezifische Umgebung, die für Ätz- und Ascheprozesse optimiert ist und aus einem Elektronenzyklotronresonanzgenerator, einem elektrostatischen Spannfutter für Anti-Radar- und Ausrichtungszwecke und einem Gasverteiler besteht. Das Advanced Control System integriert alle Subsysteme und bietet dem Anwender eine Echtzeit-Datenerfassung des Ätzprozesses und ermöglicht eine Optimierung der Prozessparameter. Jaguar 300MM Etcher/Asher ist in der Lage, Hochdurchsatz-Ätzen und Aschen mit ausgezeichneter Lokalität und Prozesskontrolle. Das Gerät wurde entwickelt, um ausgezeichnete Ätzprofile und Gleichmäßigkeit über das Substrat zu bieten, mit überlegener Leistung im Vergleich zu anderen Ätzsystemen. Die Integration fortschrittlicher Technologien wie Kassettenstufe, Gasbox und fortschrittliche Steuerungsmaschine bietet dem Anwender eine leistungsstarke und flexible Plattform, um Ätz- und Ascheprozesse zuverlässig und genau zu steuern. Der Einsatz von MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher bietet den Anwendern ein modernes Werkzeug zum Ätzen und Aschen von großflächigen Substraten.