Gebraucht MATRIX System One 105 #9098082 zu verkaufen
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ID: 9098082
Wafergröße: 4"-6"
Automatic photoresist stripper, 4"-6"
Microprocessor-controlled
Single wafer, single cassette
Independent control of:
Pressure
RF Power
Temperature
Gas flow
Substrate position
Includes:
600W RF water cooled generator (ENI OEM-6)
Optically isolated wafer processing environment
Patented interleaved electrode assembly
Multi-step (3 Steps + over etch) process program
Butterfly valve for more precise pressure control
Phase magnitude detector to provide real-time RF impedance matching control
(2) Mass flow controllers (TG 5 SLPM, 300 SCCM)
Closed-loop control of substrate temperature
Temperature range: 80°C to 250°C
Pin movement (Up and down).
MATRIX Equipment One 105 ist ein Hochleistungs-Ätz-/Aschersystem für spezialisierte Plasmaätz- und Ascheanwendungen. Das Gerät kann sowohl im Trockenätz- als auch im Nassätzmodus arbeiten und bietet eine präzise Kontrolle der Ätztiefe und Gleichmäßigkeit. Die Maschine One 105 besteht aus drei Komponenten, darunter eine HF-Stromquelle, eine Prozesskammer und ein Reglermodul. Die HF-Stromquelle liefert bis zu 2.5kW Leistung an das Substrat und ermöglicht ein Tiefätzen von bis zu 5 µm Tiefe. Die Leistung auf das Substrat erfolgt entweder direkt oder durch eine Metalldichtungsmaske, je nach Ätzanwendung. Eine Druckdichtkammer sorgt für perfekte Vakuumbedingungen beim Plasmaätzen. Das proprietäre Steuerungsmodul des Werkzeugs ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessparameter einschließlich Plasmaätzzeit, Prozessdruck, Gesamtgasstrom und Gaszusammensetzung und ermöglicht die unabhängige Überwachung von bis zu vier Abgasen. Darüber hinaus sorgt eine schnell fahrende Auto-Tune-Funktionalität für optimale Verarbeitungsbedingungen während des gesamten Prozesses. Die Anlage umfasst auch eine bordeigene Vakuumpumpe zur einfachen Evakuierung der Kammer sowie Software, die eine einfache Datenübertragung und Kontrolle der Parameter ermöglicht. Eine intuitive Benutzeroberfläche mit Touchscreen-Bedienung ermöglicht es Anfängern, ihre Ätzprozesse schnell zu beginnen. Das MATRIX Modell One 105 ist für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen konzipiert, einschließlich einschichtiger dielektrischer Strukturen, flacher Trenchisolierung, Metallisierung, MEMS und Produktion integrierter Schaltungen. Diese leistungsstarke Ausrüstung eignet sich sowohl für Forschungs- als auch für industrielle Ätzanwendungen. Es wurde gründlich getestet und bewiesen, um die Sicherheits- und Umweltstandards zu erfüllen, so dass es eine zuverlässige Wahl für Amateure und Profis.
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