Gebraucht MATRIX System One 105 #9098100 zu verkaufen
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ID: 9098100
Wafergröße: 4"-6"
Automatic photoresist stripper, 4"-6"
Microprocessor controlled
Single wafer
Single cassette
Independent control of pressure
RF Power
Temperature
Gas flow
Substrate position
Includes:
ENI OEM-6 RF water cooled generator: 600 W
Wafer processing environment
Electrode assembly
Multi-step (3 Steps and over etch) process program
Butterfly valve
Phase magnitude detector to provide real-time RF impedance matching control
(2) Mass Flow Controllers (MFCs): TG 5 SLPM, 300 SCCM
Closed-loop control of substrate temperature (Temperature range: 80°C to 250°C)
Pin movement: Up and down.
MATRIX Equipment One 105 ist ein hochwertiger Ätzer/Ascher mit erweiterten Materialverarbeitungsfunktionen. Dieser fortschrittliche Ätzer ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Silizium, Glas, Metalle und Legierungen zu verarbeiten. Das System One 105 umfasst eine Präzisions-Elektroätzstation, eine Drehstation zum Plasmaätzen und eine Sputterstation zum Ionenfräsen. Es arbeitet mit einer automatischen Be- und Entladeeinheit, die vorprogrammierte Linieneinstellungen und hochgenaue Ergebnisse ermöglicht. Diese Maschine verfügt über erweiterte Flexibilität, so dass sie verschiedene Arten von Materialien im gleichen Zyklus zu handhaben. Es verfügt auch über ein eingebautes Fehlerschutzwerkzeug, das Schäden an empfindlichen Teilen und Materialien vermeidet. Der Ätzer verfügt über eine innovative Heizanlage, die eine gleichmäßige Erwärmung der Materialien auf die gewünschte Temperatur gewährleistet. Dies gewährleistet ein optimales Ätzergebnis, unabhängig von Material oder Temperaturbereich. Zusätzlich enthält der Ätzer ein Steuerungsmodell, das einen konsistenten Ätzprozess für optimale Ergebnisse überwacht und aufrechterhält. Es ermöglicht auch mehrere Ätzzyklen und Funktionen Auto-Tune-Steuerungsfunktionen für mehr Genauigkeit und Präzision. In Bezug auf Genauigkeit und Haltbarkeit bietet der MATRIX Equipment One 105 Ätzer höchste Präzision und Haltbarkeit zu einem erschwinglichen Preis. Das Ionenfräsen liefert hochgenaue und präzise Ergebnisse, und das Plasmaätzen bietet eine verbesserte Formelementdefinition. Dies macht den Ätzer ideal für kritische Geräteherstellungsaufgaben, die Präzision und Genauigkeit erfordern. Der Ätzer verfügt außerdem über eine leistungsstarke programmierbare Steuereinheit, mit der Benutzer auf detaillierte Programmier- und Steuerungsebenen zugreifen können. Dies ermöglicht ein präzises und konsistentes Ätzen, unabhängig von Material und Art der Ätzung. Der Ätzer ist für hochspezialisierte Verarbeitungsaufgaben konzipiert und eignet sich hervorragend für die Handhabung von mikrofabrizierten Bauteilen. Das Gerät ist sowohl kompakt als auch robust und somit perfekt für den Einsatz in einem Labor oder einer anderen Produktionsumgebung geeignet. Dadurch ist System One 105 eine ideale Wahl für Anwender, die einen einfach zu bedienenden, zuverlässigen, genauen und kostengünstigen Ätzer suchen.
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