Gebraucht MATRIX System One 105 #9293401 zu verkaufen
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ID: 9293401
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 1991
Asher, 4"-6"
Si and GaAs,
Square substrates, 4.5"
RF 100 - 500 V
Auto-tune
Maximum watts: 600 W, 13.56 MHz
Special chuck: 70 mm - 150 mm
Special chuck wafers: 50 mm
Adjustable cassette platform
TYLAN Butterfly valve
Capacitance manometer
Temperature control:
Wafer chuck
Closed loop
Resistive element heated
Perimeter
Draw pump ring grooved
Chuck: 150°C - 250°C, (+5°C)
Descum: 70°C -150°C, (+5°C)
At > 250 W
Plasma chamber: Side shooter gas inlet
Electrode design: Meshed electrodes
Clamped dual quartz baffle design
Base plate cooling
Throughput: >35 WPH
Process gases: O2 and N2 (MFC Optional)
Strip rate, 6"
Baked resist: 1.2µ
120°C > 1.2 µ/min at 250° C
Repeatability ±10%
Non-uniformity 1 Sigma: < 5%
Particulates added: <0.10 cm²
Size: >0.2 mm
Descum: +10%, 1 Sigma
Minimum vacuum pump speed: 32 CFM
Reliability:
Availability: > 95%
MTBF: > 450 Hours
MTBA: > 24 Hours
MTTR: < 4 hours
No wafer cooling station
1991 vintage.
MATRIX Equipment One 105 ist ein Ätzer/Ascher für Metallveredelung, hartes und weiches Material, Oberflächenvorbereitung, Markierung, Ätzen und Etikettieren. Es arbeitet als Präzisionsmaschine, die ein breites Anwendungsspektrum bietet. Die integrierte Steuerung verwendet eine B&R PLC2 Steuerung, die eine zuverlässige, genaue und schnelle Bedienung sowie eine Vielzahl von Funktionen bietet. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzer/Ascher bei sehr geringem Wartungsaufwand reibungslos arbeitet. Die eigenständige Steuerung betreibt das Gerät selbst und kann über eine mitgelieferte PC-Schnittstelle überwacht werden. Dies macht es einfach, das System zu programmieren und einzurichten, so dass Stapelverarbeitung und Wiederholungen möglich sind. Die Einheit ist in der Lage, alle Materialien mit einer breiten Palette von Dicken zu ätzen/zu aschen. Es kann sowohl weiche als auch harte Materialien wie Edelstahl, Aluminium, Messing, Kunststoffe, Glas und andere Verbundwerkstoffe verarbeiten. Die horizontale Arbeitsfläche der Maschine ermöglicht es Benutzern, Materialblätter bis zu einer Größe von 1000mm x 800mm zu verarbeiten. Der Querträger ermöglicht einen schnellen Wechsel von bis zu fünf Werkzeugen und ist für eine einfache Anpassung bei Projekten motorisiert. Das Gerät verfügt über eine Reihe von Funktionen, die das Einrichten und Bedienen von Benutzern erleichtern. Es verfügt über integrierte Speicher selbstdiagnostische Alarme, die Benutzer auf Fehler aufmerksam machen, so dass sie schnell Korrekturmaßnahmen ergreifen können. Es kommt auch mit Sicherheitswachen, die sicherstellen, dass Materialien verarbeitet werden und der Bediener sicher ist. Das gesamte Werkzeug ist für die Sicherheit VDE/GS- und DIN-konform. Das Gerät verwendet eine Kombination aus UV- und IR-Diodenlasersystemen, die es ermöglicht, hohe Präzisionsergebnisse bei hoher Materialauslastung zu erzielen. Die UV-Laserquelle ermöglicht es Anwendern, Kunststoffe zu verarbeiten, während die IR-Laseranlage es Anwendern ermöglicht, Metalle und Glas zu verarbeiten. Es gibt sechs Arbeitskopfpositionen, die eine gleichzeitige und schnelle Bearbeitung ermöglichen. Die mehreren Poolmuster des Zielmaterials vereinfachen die Verarbeitung und erzielen eine gleichmäßige Oberflächengüte. Das Modell wurde mit einem wartungsarmen Design gebaut, das einen sicheren und effizienten Betrieb mit minimalen Ausfallzeiten ermöglicht. MATRIX Equipment One ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der schnelle Durchlaufzeiten und qualitativ hochwertige Endergebnisse liefern kann. Dies macht es ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Fertigungs- und Engineering-Anwendungen, bietet Komfort, Geschwindigkeit und Genauigkeit.
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