Gebraucht MATRIX System One 106 #9098085 zu verkaufen

MATRIX Equipment One 106 ist ein vollautomatisierter Hochleistungsätzer/-ascher, der von Lockheed Martin Advanced Energy Technologies entwickelt wurde. Es basiert auf dem Linearmotormechanismus MATRIX X-Y, der üblicherweise in Dünnschichtbeschichtungssystemen verwendet wird. Mit seiner hohen Präzision und Geschwindigkeit eignet sich dieses System für den Einsatz unterschiedlichster Materialien von Dielektrika bis zu Metallen und anderen Materialien. Die Einheit wurde entwickelt, um eine hohe molekulare Gleichmäßigkeit der Schichtdicke über das Substrat zu gewährleisten und eine gleichmäßige Ätz-/Aschewachstumsrate in alle Richtungen zu gewährleisten. Herzstück der Einheit ist eine mehrachsige Einheit von Präzisions-X-Y-Linearmotoren. Diese Motoren bewegen den Ätzkopf mit einer Auflösung von 1 Mikrosekunden in der X-Y-Ebene. Der Ätzkopf wird in eine Vakuumkammer gelegt, in der Ätz- und Aschebehandlungen stattfinden. Beim Ätzen kann die Vakuumkammer für eine optimale Ätzrate für verschiedene Substrate eingestellt werden. Druck, Temperatur und Gaszusammensetzung sind ebenfalls einstellbar. Die Temperatur kann bis zu 1000 ° C erreichen und der Druck ist bis maximal 200Pa einstellbar. Darüber hinaus verfügt Machine One 106 über ein integriertes, diagnostiziertes, automatisiertes Testwerkzeug, das die optimale Bearbeitung von Substraten gewährleistet. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätz- und Ascheprozess mit höchster Präzision erfolgt. Das Substrat kann Chalkogenid, Quarz, Titansublimat, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Aluminium und andere Materialien sein. MATRIX Model One 106 ist eine robuste Ausrüstung, die für die Erfüllung der Bedürfnisse der anspruchsvollsten Industrieprojekte eingesetzt werden kann. Es ist hochgenau, hat hohe Wiederholbarkeit und hohe Präzision. Die hohen Prozesstoleranzen, die das System bietet, machen es für Prototyping, Funktionsprüfung und Produktfertigung geeignet. Es verwendet auch fortschrittliche Steuergerätetechnologie, um ein hohes Maß an Gleichmäßigkeit in jeder Ätzschicht zu gewährleisten. Der Ätzer/Ascher ist sehr zuverlässig und pflegeleicht. Die Maschinensicherung trägt auch dazu bei, dass das Gerät in jeder Umgebung betriebsfähig bleibt.