Gebraucht MATTSON 165-91000-00 #293671335 zu verkaufen

MATTSON 165-91000-00 ist eine fortschrittliche Ätz- oder Aschermaschine für die Photolithographie. Es verfügt über ein einstellbares Gasströmungssystem, um Prozessbedingungen für wiederholbare Ergebnisse zu optimieren. Der Ätzer verwendet ein horizontales Ringfutter mit einer schwimmenden Endplatte, um die Topographie zu reduzieren. Die Gasverteilereinheit ist mit ventilierten Kieselsäure-Leitungen mit einstellbaren Öffnungen ausgestattet, um einen Richtgasstrom für höhere Wiederholbarkeit von Ätzprofilen und Gleichmäßigkeit von Kantenprofilen zu gewährleisten. Die Maschine umfasst auch hochwertige Quarzsubstrat Heizung Diffusionsöfen, mit genauer Temperaturregelung für wiederholbare Temperaturprofile, und niedrigen thermischen Schock für das Substrat. Das Kapazitätsendpunkt-Sensorwerkzeug ist in das Asset integriert, mit manueller und automatischer Bedienungsoption. Das Modell kann auch mit anderen Prozessleitsystemen wie Job Controllern und MES-Systemen zur Maximierung der Prozesssteuerung und -überwachung verbunden werden. In Bezug auf die Prozessfähigkeiten, 165-91000-00 ist entworfen, um Präzisionsätzen von praktisch jedem Substrat zu liefern, einschließlich Silizium, Quarz, Keramik, Aluminium und Glas. Darüber hinaus können die Geräte Metalle wie Gold, Kupfer, Chrom und Palladium für hochauflösende Anwendungen abscheiden und ätzen. Das System verfügt über einen breiten Prozessbereich, der eine Ätztiefe von 3 μ m bis 18 μ m ermöglicht. Es verfügt auch über ein breites Prozessfenster, um eine Abstimmung der Ätzrate für optimale Ätzergebnisse für verschiedene Anwendungen zu ermöglichen. MATTSON 165-91000-00 bietet darüber hinaus hervorragende Prozesswiederholbarkeit und statistische Prozesskontrolltools wie SPC-Charts. Es verfügt auch über ein integriertes Prozess-Softwarepaket mit Rezepten, Echtzeit-Live-Überwachung von Prozessparametern, Prozess-Trendanalyse, statistische Prozesssteuerung und Prozessdatenspeicherung. Das Gerät ist aus Teflon und Edelstahl gefertigt, wodurch es extrem langlebig und korrosionsbeständig ist. Alle Glas- und Kieselsäure-Anschlüsse sind dicht und die Maschine verfügt über eine selbstreinigende Gasleitung. Darüber hinaus verfügt das Tool über erweiterte Sicherheitsfunktionen sowie Venturi-Beladung und 4 "-Wafer-Handling. Insgesamt ist 165-91000-00 ein fortschrittliches Ätz-/Ascher-Asset, das ein präzises Ätzen von praktisch jedem Substrat mit hoher Auflösung ermöglicht. Es bietet hervorragende Prozesswiederholbarkeit und statistische Prozesskontrollwerkzeuge mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen und 4 "-Wafer-Handling. Das Modell ist aus Teflon und Edelstahl gefertigt, wodurch es extrem langlebig und korrosionsbeständig ist. Die Gasverteilerausrüstung sorgt für einen Richtgasstrom, der wiederholbare Ätzprofile und die Gleichmäßigkeit von Kantenprofilen gewährleistet.