Gebraucht MATTSON Aspen II #293619551 zu verkaufen

MATTSON Aspen II Ätzer/Ascher ist eine hochmoderne Ausrüstung für Kupfer, Aluminium und andere metallische Ätz- und Ascheprozesse. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Branchen, einschließlich Halbleiterverpackungen, PCB und MEMS, zu profitieren. Es ist in der Lage, Wafer bis 8 „im Durchmesser mit einer maximalen Ätz-/Aschekammergröße von 26“ x 13,5 „x 10“ zu handhaben. Aspen II ist mit einem digitalen Vakuumsystem ausgestattet, das eine punktgenaue Kontrolle über Druck und Temperatur ermöglicht. Dieses digitale Druckmanagement ermöglicht es dem Gerät, eine optimale Prozessatmosphäre mit einer breiten Palette von Chemistries aufrechtzuerhalten. Die digitale Vakuummaschine sorgt zudem für eine einheitliche Prozessgleichförmigkeit für jedes Rezept. MATTSON Aspen II ist zudem mit einem programmierbaren Endpunkt ausgestattet, mit dem für jedes Rezept vordefinierte Betriebsparameter eingestellt werden können, so dass jeweils ein präziser Ätz-/Aschezyklus durchgeführt werden kann. Dies gewährleistet wiederholbare Ergebnisse unabhängig von Bediener, Chargengröße oder Prozessbedingungen. Die Prozesskammer von Aspen II weist perforierte Wände auf, die eine gleichmäßige Verteilung von Prozessgasen und Ätzchemie ermöglichen und gleichzeitig eine breite Palette von nachgeschalteten Ätzraten ermöglichen. Diese perforierte Wandgestaltung verbessert auch die Reinigungsfähigkeit des Ätzers/Aschers, was zu einer sauberen Kammer zwischen Prozesszyklen führt. MATTSON Aspen II verfügt über einen Mehrzonen-HF-Generator, der eine Kombination aus wiederholbaren Prozesskochzeiten und reichlich Leistung für Ihre spezifische Anwendung ermöglicht. Aspen II verfügt auch über einen fortschrittlichen Selbstreinigungszyklus, der eine schnelle Wiederherstellung nach dem Prozess und eine wiederholbare Ätz-/Ascheleistung ermöglicht. Neben den Ätz-/Ascheprozessfähigkeiten ist MATTSON Aspen II in der Lage, eine breite Palette von Nachprozessoperationen durchzuführen, wie elektrochemische Beschichtung, Korrosionsschutz und Beschichtung. Aspen II Ätzer/Ascher bietet eine robuste und zuverlässige Verarbeitungsplattform mit verbesserter Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit. Es bietet auch eine breite Palette von Post-Prozess-Optionen, die eine End-to-End oder Stand-Alone-Verarbeitung in einem einzigen Werkzeug ermöglichen.