Gebraucht MATTSON Aspen II #293775108 zu verkaufen

MATTSON Aspen II ist eine präzise Nassätzanlage, die zum Ätzen von Metallen und Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Siliziumnitrid, GaAsP und anderen ähnlichen Materialien der Gruppe III-V entwickelt wurde. Es verwendet eine patentierte reaktive Gasschrankkammer, um den optimalen Ätzprozess zu gewährleisten. Das System erzeugt kreisförmige, quadratische und rechteckige Merkmale mit Gleichmäßigkeit und Präzision über eine breite Palette von Abmessungen. Aspen II ist eine kompakte Ätzeinheit, die in zwei Größen mit bis zu 16 Reaktoren erhältlich ist. Es umfasst zwei motorisierte Roboter mit einer breiten Palette von Fähigkeiten, eine fortschrittliche Ätzgasliefermaschine und Dual-Wandler zur präzisen Steuerung von Flüssigkeitsfluss und Druck. Es hat einen hohen Arbeitsdruckbereich von 0 bis 115 PSI und eignet sich für Ätzdicken bis 6 Mikrometer. Es enthält auch ein hochempfindliches optisches Überwachungswerkzeug, um Präzision beim Ätzen zu gewährleisten. MATTSON Aspen II wurde entwickelt, um ein hochpräzises Ätzen mit niedrigen NH4OH Konzentrationen zu ermöglichen und das Ätzen von Nichtzielmaterialien zu reduzieren. Es verfügt über fortschrittliche Algorithmen zur Erreichung der höchsten Ätzgleichmäßigkeit und Präzision in einer breiten Palette von Materialien. Darüber hinaus ermöglichen die kompakte Bauweise und die Mehrfachkonfigurationen das Ätzen von bis zu 16 Wafern gleichzeitig. Die Anlage verfügt außerdem über eine niedrige Partikelemissionsrate, einen Temperaturbereich von -20 bis + 50C und ein automatisches Prozessprüfmodell, das eine genaue Inline-Überwachung gewährleistet. Aspen II ist eine ideale Ausrüstung für den Einsatz in der Forschung und Produktion für die Mikrobearbeitung und ähnliche Anwendungen. Sein robustes Design, innovative Steuerungsalgorithmen und verschiedene Konfigurationen machen es zu einem geeigneten System zum Präzisionsätzen aller Materialien. Seine Vielseitigkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit machen es zu einem wertvollen Werkzeug für Ätzprozesse.