Gebraucht MATTSON Aspen II #293807044 zu verkaufen

MATTSON Aspen II ist ein Hochleistungs-Mikrocontroller-basiertes Plasma Asher/Etcher Equipment, das sich sowohl für die F&E als auch für die Produktionsverarbeitung eignet. Das System ist in der Lage, in einer Vielzahl von Gas- und Prozesschemien zu ätzen und zu aschen. Diese Einheit umfasst sowohl eine Elektrodenversorgung als auch eine Prozesskammer, die eine Vielzahl von Dünnschichtätz- und Abscheideprozessen ermöglicht. Aspen II Maschine hat einen Betriebsdruckbereich von 1-100 Millitorr und verwendet eine entfernte Plasmaquelle und HF RF/DC gepulste Stromversorgung, um eine hochdichte Plasmakolbe zu erzeugen. Diese Wolke ist elastisch im Bereich von Methan, Argon und Sauerstoff, und andere Edelgase und Ionen können für spezielle Anwendungen verwendet werden. Die integrierten sekundären Ionenmassendetektoren (SIMS) für die Plasma-Ionen-Charakteristikanalyse liefern Anwendern genaue Prozesskurve und Ergebnis des Plasmaätzens. Die präzise Konstruktion von MATTSON Aspen II und die fortschrittlichen Materialien in seiner Konstruktion machen es zu einem robusten und zuverlässigen Werkzeug. Die Anlage verfügt außerdem über mehrere in ihr Design eingebaute Schutzmaßnahmen wie Rückflussverhütung und Vakuumkühler für die Stromerwärmung und eignet sich somit ideal zum Ätzen von hartnäckigen Materialien wie Quarz und einer Vielzahl von Halbleitermaterialien. Das Modell verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, die es für empfindliche Prozesse geeignet machen, einschließlich tiefer Ultraviolettfilterung, einer langsamen Entgasungsfunktion und Wafer-Photoresist-Tracking-Systemen. Der automatisierte Aspen II ist einfach zu bedienen und kann mit minimalem Aufwand in jedes vorhandene Prozess-Toolkit integriert werden. Schließlich gewährleistet die Hochleistungsausrüstung eine konsistente, wiederholbare und hoch kontrollierbare Prozessqualität, die typisch für die von einem industrietauglichen Ätz-/Aschesystem erwartete Prozessqualität ist. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) bietet eine einfache Programmierung, Vorverarbeitung und vollständige Überwachung des Prozesses. MATTSON Aspen II hat eine hervorragende mittlere Druckgleichmäßigkeit und ist in der Lage, bis zu 9um Präzision zu ätzen. Overal, Aspen II ist eine ausgezeichnete Wahl für alle Ätz-/Ascheanwendungen, so dass Anwender überlegene Prozessergebnisse mit einem hohen Grad an Wiederholbarkeit, Gleichmäßigkeit und Kosteneffizienz erzielen können.