Gebraucht MATTSON Aspen II #9155758 zu verkaufen

MATTSON Aspen II ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für den Einsatz in einer Reihe von Prozessen, von der Substratverarbeitung bis zur endgültigen Musterbildung. Es ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300mm auf einem nicht entfernten Gerät mit fünf Platten zu ätzen und zu waschen. Das System verfügt über einen vollautomatisierten Chargenkassettenlader und Ausrichter, wodurch das manuelle Laden und Ausrichten entfällt. Für noch mehr Komfort kann er an einen Roboterlader nach Industriestandard angeschlossen werden. Das einzigartige Design von Aspen II ermöglicht einen hohen Durchsatz bei minimaler Prozessvariation und außergewöhnlicher Produkteinheitlichkeit. Seine Zweizonen-Prozesskammern bieten eine unabhängige Steuerung der Prozessparameter, so dass das Gerät höhere Prozessraten erreichen kann. Die Maschine ist auch mit einem einstellbaren Wafer-Temperaturregelwerkzeug ausgestattet, um Fehler durch Substrattemperaturschwankungen zu minimieren. Neben den schnellen Prozesszeiten bietet MATTSON Aspen II auch präzises Plasmaätzen und hochwertige Strukturierung. Das Asset ist sowohl für Ätz- als auch für Ascheanwendungen optimiert und verwendet fortschrittliche Rezepte, um qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheprozesse zu gewährleisten. Dies wird durch optionale Öffnungen variabler Größe für minimale Eigenschaften und sein hochauflösendes Mesh zur präzisen Strukturierung unterstützt. Das Modell verfügt auch über mehrere Sicherheitsmerkmale, um Bediener vor potenziellen Gefahren zu schützen. Dazu gehören Infrarotsensoren zur Erkennung von offenen oder beschädigten Kassetten und ein automatischer Deaktivierungsmechanismus für Lasten und manuelle Ladesysteme. Aspen II ist ein vielseitiges Gerät mit robuster Leistung, präziser Steuerung und präziser Strukturierung für eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen. Sein einfaches, benutzerfreundliches Design ermöglicht eine einfache Einrichtung und Bedienung und ist somit eine ideale Wahl für Forschung, Entwicklung und Produktion.