Gebraucht MATTSON Aspen II #9230723 zu verkaufen
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ID: 9230723
Wafergröße: 8"
ICP System, 8"
Wafer type: Silicon
Chamber type:
Rear chamber: ICP Chamber
Cool chamber
Mainframe options:
Cassette nest: SMIF Cassette nest
Operator interface: Operator interface, 18" with SMIF
Paddle selection: Adjustable paddle
Panel / Skin color: White
Sub-frame: Tall frame
Light tower: Pole mount, (4) colors
Wafer sensors: Cassettes & paddle sensors standard silicon
Paddle O-rings: KALREZ
Slotted groove slit door type without regulators
Loadlock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
Hinged cooldown chamber
Cooling chamber skin
Remote operator interface panel
Rapid cassette exchange
System skins for sub-frame & AGV: Standard skins for TALL sub-frames with EMO
No wafer mapping
No secondary interface PCB
SMIF Option
PCB Part: V VERSA COM +4
No robot safety enclosure
SECS / GEM-1 Interface: VERSA COM +4
Gas panel type:
Top of short frame
Cabinet with door
Gas panel facilities: Bottom gas feed with CDA regulator
Mainframe exhaust options: Ceiling exhaust flange for external hookup & ductwork
Vacuum fitting connections: KF50 Vacuum connections standard
Shrouded locking EMO type
EMO Button guard ring
Panel interlock options: Mechanical interlock switch
Chamber configurations:
Temperature control: Watlow temperature control panel standard
ACX 1201 Pressure control with ext PS
No MATTSON endpoint system
MFC Type: MFC on Core
MFC Cal gas: N2
Gas delivery options:
Gas 1 / 10000 / O2
Gas 2 / 200 / CF4
Gas 3 / 5000 / N2
RF Components:
RF Match: TRAZAR AMU10-D2
(2) RF Generator racks: ENI / RFPP / ADTEC class B generators
Generator type: ENI OEM12B
Power supply: 208 V, Single phase
Cable length: 60" RF Cables with cesar 1312 gens
MFC With core chamber
Installed:
Heater jackets on isolation valve, throttle valve & foreline
HEPA Mini-environment with blower & ULPA filter
Bracket sensor lift pin (Up / Down), 062-00017-00
Bracket sensor side slit door (Bottom / Upper), 053-00018-00 & 053-00011-00
Pneumatic manifold (4) stations:
2-4 Ports (Middle)
3-8 Ports (Lower)
Regulators, 0-150 PSI
With gauge for slit doors & lift pins up / Down
Power supply:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200/208 VAC, 3 Phase, 60 Amp, (5) Conductors
AC Power: Mainframe AC box, 208 V, Single phase
CE Marked.
MATTSON Aspen II ist ein speziell für die fortschrittliche Prozessintegration entwickeltes Ätz- und Veraschungsprozesswerkzeug. Es verfügt über Prozessflexibilität und hohen Durchsatz und ist somit ideal für Anwendungen in Forschung, Entwicklung und Geräteherstellung. Aspen II verfügt über viele einzigartige Prozessmodule, die leicht in die Ausrichtung integriert werden, einschließlich der Abschreck-, Verdampfungs- und Ätzmodule. Das Abschreckmodul wird durch Hochfrequenzpulsen gesteuert, was eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht. Das Verdampfungsmodul verwendet eine hohe Rate, energieeffiziente, HF-Heizquelle für die Verdampfung von Materialien. Das Ätzmodul verfügt über eine kostenlose, optionale DC-Ladeeinrichtung für Gleichstromätzen und -veraschen sowie Hochgeschwindigkeits-Vorätzprogramme und schonende Nachbehandlung. MATTSON Aspen II ist mit einer Vielzahl von Konfigurationen und Temperaturbereichen ausgelegt. Seine System™ Gasquelleneinspritzung ist in der Lage, Gase durch eine Reihe von kalibrierten, einheitlichen Prozessen zu fördern. Die integrierte multi-ionisierte Vakuumeinheit schafft eine saubere, niederdruckreiche Umgebung über eine Reihe von Prozessschritten. Alle Kammern sind zugänglich und austauschbar, so dass Prozessflexibilität und ein hoher Durchsatz gewährleistet sind. Das intuitive Bedienfeld von Aspen II sorgt für eine exzellente Kontrolle des gesamten Prozesses und ermöglicht eine einfache Datenerfassung und -berichterstattung. MATTSON Software Paket bietet auch kundenspezifische Daten und Rezept-Management für verschiedene Prozesse. Die fortschrittliche Touchscreen-Schnittstelle ermöglicht eine einfache Maschinennavigation, die auch für Anfänger Zugänglichkeit ermöglicht. MATTSON Aspen II ist die perfekte Lösung für integrierte, fortschrittliche Prozessintegration. Mit hohem Durchsatz, Prozessflexibilität, einfachem Daten- und Rezeptmanagement, einfachem Zugriff und einer Vielzahl von Konfigurationen ist es das ideale Werkzeug für Produktions- oder Forschungsanwendungen.
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