Gebraucht MATTSON Aspen II #9230723 zu verkaufen

MATTSON Aspen II
Hersteller
MATTSON
Modell
Aspen II
ID: 9230723
Wafergröße: 8"
ICP System, 8" Wafer type: Silicon Chamber type: Rear chamber: ICP Chamber Cool chamber Mainframe options: Cassette nest: SMIF Cassette nest Operator interface: Operator interface, 18" with SMIF Paddle selection: Adjustable paddle Panel / Skin color: White Sub-frame: Tall frame Light tower: Pole mount, (4) colors Wafer sensors: Cassettes & paddle sensors standard silicon Paddle O-rings: KALREZ Slotted groove slit door type without regulators Loadlock manometer: 100 Torr Shuttle manometer: 1000 Torr Hinged cooldown chamber Cooling chamber skin Remote operator interface panel Rapid cassette exchange System skins for sub-frame & AGV: Standard skins for TALL sub-frames with EMO No wafer mapping No secondary interface PCB SMIF Option PCB Part: V VERSA COM +4 No robot safety enclosure SECS / GEM-1 Interface: VERSA COM +4 Gas panel type: Top of short frame Cabinet with door Gas panel facilities: Bottom gas feed with CDA regulator Mainframe exhaust options: Ceiling exhaust flange for external hookup & ductwork Vacuum fitting connections: KF50 Vacuum connections standard Shrouded locking EMO type EMO Button guard ring Panel interlock options: Mechanical interlock switch Chamber configurations: Temperature control: Watlow temperature control panel standard ACX 1201 Pressure control with ext PS No MATTSON endpoint system MFC Type: MFC on Core MFC Cal gas: N2 Gas delivery options: Gas 1 / 10000 / O2 Gas 2 / 200 / CF4 Gas 3 / 5000 / N2 RF Components: RF Match: TRAZAR AMU10-D2 (2) RF Generator racks: ENI / RFPP / ADTEC class B generators Generator type: ENI OEM12B Power supply: 208 V, Single phase Cable length: 60" RF Cables with cesar 1312 gens MFC With core chamber Installed: Heater jackets on isolation valve, throttle valve & foreline HEPA Mini-environment with blower & ULPA filter Bracket sensor lift pin (Up / Down), 062-00017-00 Bracket sensor side slit door (Bottom / Upper), 053-00018-00 & 053-00011-00 Pneumatic manifold (4) stations: 2-4 Ports (Middle) 3-8 Ports (Lower) Regulators, 0-150 PSI With gauge for slit doors & lift pins up / Down Power supply: Line frequency: 50/60 Hz Line voltage: 200/208 VAC, 3 Phase, 60 Amp, (5) Conductors AC Power: Mainframe AC box, 208 V, Single phase CE Marked.
MATTSON Aspen II ist ein speziell für die fortschrittliche Prozessintegration entwickeltes Ätz- und Veraschungsprozesswerkzeug. Es verfügt über Prozessflexibilität und hohen Durchsatz und ist somit ideal für Anwendungen in Forschung, Entwicklung und Geräteherstellung. Aspen II verfügt über viele einzigartige Prozessmodule, die leicht in die Ausrichtung integriert werden, einschließlich der Abschreck-, Verdampfungs- und Ätzmodule. Das Abschreckmodul wird durch Hochfrequenzpulsen gesteuert, was eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht. Das Verdampfungsmodul verwendet eine hohe Rate, energieeffiziente, HF-Heizquelle für die Verdampfung von Materialien. Das Ätzmodul verfügt über eine kostenlose, optionale DC-Ladeeinrichtung für Gleichstromätzen und -veraschen sowie Hochgeschwindigkeits-Vorätzprogramme und schonende Nachbehandlung. MATTSON Aspen II ist mit einer Vielzahl von Konfigurationen und Temperaturbereichen ausgelegt. Seine System™ Gasquelleneinspritzung ist in der Lage, Gase durch eine Reihe von kalibrierten, einheitlichen Prozessen zu fördern. Die integrierte multi-ionisierte Vakuumeinheit schafft eine saubere, niederdruckreiche Umgebung über eine Reihe von Prozessschritten. Alle Kammern sind zugänglich und austauschbar, so dass Prozessflexibilität und ein hoher Durchsatz gewährleistet sind. Das intuitive Bedienfeld von Aspen II sorgt für eine exzellente Kontrolle des gesamten Prozesses und ermöglicht eine einfache Datenerfassung und -berichterstattung. MATTSON Software Paket bietet auch kundenspezifische Daten und Rezept-Management für verschiedene Prozesse. Die fortschrittliche Touchscreen-Schnittstelle ermöglicht eine einfache Maschinennavigation, die auch für Anfänger Zugänglichkeit ermöglicht. MATTSON Aspen II ist die perfekte Lösung für integrierte, fortschrittliche Prozessintegration. Mit hohem Durchsatz, Prozessflexibilität, einfachem Daten- und Rezeptmanagement, einfachem Zugriff und einer Vielzahl von Konfigurationen ist es das ideale Werkzeug für Produktions- oder Forschungsanwendungen.
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