Gebraucht MATTSON Aspen II #9246107 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9246107
Wafergröße: 8"
ICP Asher, 8"
Dual chamber system
Upgraded gas panel
Quartz ware
Chamber side and back:
Front end:
26" With separate operator interface
4-Color light tower
TFT Design monitor
Load locks:
Single L/L
(2) Cassette stations
Capability of queuing lots
Load lock seal: Lip seal (Non bellow)
Platform: 4 x 25 Slot cassette
Rotating cassette nests, 8"
Cool down station without circular groove pattern
Transfer robot:
Main robot: MATTSON 3-Axis robot
Robot arm: 4-Adjustable paddles standard
Slit door
Process module configuration:
Electrode configuration: Electrical heater with backing plate
Tube type: Quartz tube
Standard process window
ICP Chamber O-Ring type: Fluorosilicone
Temperature controller: WATLOW EZ Zone
Grids / Guide rings: Extended guide rings
Pressure controller:
VAT Valve Pressure controller
Chamber manometer: 10 Torr
Load lock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
RF/ MW System:
RF System: Top RF, 13.56 MHz
RF Generators
RF Top match: TRAZER 914-92003-00 (TRAZAR AMU 10D-2)
Gas system:
Chamber peripherals and gas line option: (4) Gas configuration back and side chambers
Gas 1: O2 - 5000 sccm
Gas 2: CF4 - 100 sccm
Gas 3: N2 - 1000 sccm
Gas 4: N2/H2 (4%) - 1000 sccm
MFC 1 to 4: BROOKS GF Series
Endpoint detection system: MATTSON Endpoint system with fixed filters
Cable length RF / Signal / Power: 19ft.
MATTSON Aspen II ist ein multifunktionales Ätz-/Aschersystem, das für präzise Ätz-/Aschefunktionen entwickelt wurde. Aspen II bietet eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, die es zur idealen Lösung für eine Vielzahl von Präzisionsätz-/Ascheprozessen machen. Zu den Hauptmerkmalen von MATTSON Aspen II gehören eine robuste Konstruktion, die Langlebigkeit und konsistente Leistung bietet, eine monochromatische Auflösung von bis zu 0,1 um, eine Prozesssteuerung mit einer Vollfarben-Touchscreen-Oberfläche und eine Reihe von Onboard-Speicheroptionen für die Speicherung von Prozesskonfigurationen und Rezepten. Dies führt zu einem äußerst zuverlässigen und benutzerfreundlichen Ätzer/Ascher. Aspen II ist auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und verfügt über mehrere Funktionen, um eine genaue, wiederholbare Leistung zu gewährleisten. Sein hochempfindlicher Z-Achsen-Höhenerfassungskontakt sorgt dafür, dass die Spitze der geätzten Teile gleichmäßig und genau mit dem Substrat in Kontakt kommt. Dadurch ergibt sich eine hervorragende Ätzqualität, die sehr zuverlässig und konstant wiederholbar ist. Darüber hinaus ist es mit „Surface Tracking“ -Technologie ausgestattet, die Änderungen in der Ätzflächenhöhe erkennen kann, so dass MATTSON Aspen II die Tiefe des Ätzens oder des Aschens automatisch entsprechend anpassen kann. Dies führt jedes Mal zu einem konsistenten und gleichmäßigen Ergebnis. Aspen II ist mit einer Reihe von Komponenten ausgestattet, um präzise und wiederholbare Ergebnisse beim Ätzen von Metallteilen zu gewährleisten. Diese schließen einen einheitlichen 9-Positionen-Autoindexierenwerkzeugwechsler, Autoanordnung des Substrats ein, Rezepte für das auswählende Eloxieren, Vielfachekontakt-Pfropfen für die Substratflankenerkennung und Bildschirmparameter für die Prozesssteuerung eloxierend. Alle diese Merkmale gewährleisten jedes Mal ein gleichmäßiges und genaues Finish, unabhängig vom verwendeten Metall. MATTSON Aspen II ist für die einfache Integration in automatisierte Prozesse konzipiert. Seine sehr stabile, wartungsarme 5000V/4000W DC-Quelle sorgt für wiederholbare und zuverlässige Leistung und kann in praktisch jeden automatisierten Prozess integriert werden. Darüber hinaus verfügt es über eine Reihe proprietärer Software und Firmware, die die Prozesssteuerung und -überwachung effizienter, genauer und wiederholbarer machen soll. Aspen II ist die ideale Lösung für alle, die eine zuverlässige, wiederholbare und benutzerfreundliche Ätz-/Ascherlösung suchen. Dank seiner fortschrittlichen Fähigkeiten und seiner äußerst zuverlässigen und konsistenten Leistung ist es die ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen zum Präzisionsätzen und -veraschen. Die software- und hardwarebasierten Funktionen von MATTSON Aspen II sorgen jedes Mal für konstant hervorragende Ätzergebnisse. Dank ihrer robusten Entwicklungs- und automatisierten Prozesssteuerungsfunktionen ist sie eine ideale Lösung für industrielle Anwender, die nach zuverlässigen Ergebnissen und vereinfachter Bedienung suchen.
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