Gebraucht MATTSON Aspen II #9401067 zu verkaufen

MATTSON Aspen II ist eine hochmoderne elektrochemische Ätz-/Aschevorrichtung, die für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System verfügt über eine fortschrittliche Elektronik zur präzisen Steuerung von Ätz- und Ascheprozessen, die flachere, dickere Schichten auf breiten Substraten ermöglicht. Es wird mit einer erweiterten düsenlosen Badeinheit geliefert, die eine präzise und präzise Steuerung des Strippvorgangs ermöglicht und vorhersehbare und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Zusätzlich hält die integrierte selbstreinigende Maschine das Werkzeug auf Höchstleistung, indem sie automatisch den Verschmutzungsaufbau beseitigt. Von der innovativen düsenlosen Lösung bis hin zum schnellen Ätzen ist die Anlage zuverlässig und effizient. Aspen II ist in der Lage, bis zu 50 Wafer pro Stunde bei einer maximalen Temperatur von 475 ° F zu verarbeiten und kann für eine Vielzahl von Materialien verwendet werden, einschließlich Silizium, Aluminium, Wolfram und Titanat. Die integrierte Softwareschnittstelle ermöglicht es Benutzern, Einstellungen zu optimieren und Modelleinstellungen für einen effizienten Betrieb anzupassen. Darüber hinaus bietet es dank seiner hocheffizienten Vakuumpumpe und Gasströmungssensoren eine umweltfreundliche Lösung zur Begrenzung der Lösungsmittelemissionen. Dies trägt dazu bei, dass Ätz- und Ascheprozesse den Umwelt- und Sicherheitsvorschriften entsprechen. Das innovative Design von MATTSON Aspen II erleichtert zudem die Wartung und ermöglicht einen einfachen Zugang zu allen internen Komponenten. Darüber hinaus verwaltet die Steuerung des Gerätes den Ätzprozess von der Quelle bis zum Substrat mit einer präzisen und wiederholbaren Abscheide- und Abtragsrate. Darüber hinaus sorgt das Präzisionsgasfördersystem für präzise und gleichmäßige Gasströme für optimierte Ätz- und Ascheprozesse, wodurch Prozessvariationen reduziert und bessere Ergebnisse erzielt werden können. Aspen II ist eine leistungsstarke und zuverlässige elektrochemische Ätz-/Aschereinheit. Es bietet eine präzise und wiederholbare Steuerung für Ätz- und Ascheprozesse, was zu flacheren, dickeren Schichten auf breiten Substraten führt. Darüber hinaus sorgt die ausgeklügelte Elektronik für zuverlässige und effiziente Leistung, während das integrierte selbstreinigende Werkzeug und die Gasdurchflusssensoren die Einhaltung der Umwelt- und Sicherheitsvorschriften gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht sein innovatives Design eine einfache Wartung und präzise Gasförderung, was zu überlegenen Ergebnissen bei minimaler Prozessvariation führt.