Gebraucht MATTSON Aspen III Lite #9390391 zu verkaufen

MATTSON Aspen III Lite ist ein All-in-One-Einzelwaveform-Ätzer/Ascher für die integrierte Halbleiter-Wafer-Gerätebearbeitung. Es ist eine kompakte, kostengünstige Lösung, die den Anforderungen der Forschung und Entwicklung (F&E) der Halbleiterbauelementherstellung und -forschung gerecht wird. Die Präzision seiner Single-Waveform-Technologie ist in der Lage, präzise Ätz- und Aschefunktionen in einem kleinen Platzbedarf zu erzeugen und bietet eine hervorragende Auflösung und Genauigkeit. Aspen III Lite ist mit einer stabilen, gleichmäßigen ultravioletten Lichtquelle gebaut, die in der Lage ist, eine minimale Linienbreite von 50nm mit präziser Tiefenkontrolle zu erzeugen. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Maskentypen wie Chrom, Polysilizium und Nitrid zu unterstützen. Das Gerät ist mit einem Submikron, quarzbasierten, berührungslosen, reflektionslosen Monitor für präzise Prozessdatenerfassung und -überwachung ausgestattet. Daten können in Echtzeit exakt extrahiert werden, zusätzlich zur späteren Analyse in der Maschine gespeichert zu werden. MATTSON Aspen III Lite ist mit elektromechanischen Komponenten ausgestattet, die dazu beitragen, Drift zu reduzieren und Präzision über seine gesamte Palette der thermischen Verarbeitung aufrechtzuerhalten. Das schließt eine hohe Temperatur excimer Lampenstromversorgung, ein Temperaturregelsystem des geschlossenen Regelkreises und eine Kapazitätslaufwerkätzeneinheit ein. Es hat Aluminiumübertragung in die Prozesskammer, so dass es für Wafergrößen von 3 „bis 8“ geeignet ist. Aspen III Lite unterstützt mehrere Ätz-/Ascheprozesse, einschließlich VLE (vacuum level etch), iSLE (in situ lokal geätzt), Wet Ash, PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) und ECR (electron cyclotron resonance). Es ist mit einer großflächigen Waferbearbeitungsfähigkeit ausgestattet, die in eine maßgeschneiderte Kammer integriert ist. Es kann bis zu fünf (5) Prozesse gleichzeitig unterstützen und bis zu fünf (5) Rezeptrezepte können im Speicher gespeichert werden. Die Sicherheit wird in allen Phasen des Prozesses mit dem Einsatz von Alarmen und Verriegelungen zum Abschalten des Betriebs gewährleistet, wenn ein Fehler auftritt. Darüber hinaus ist MATTSON Aspen III Lite für die Signalleitungen zwischen VME-Bus und Fahrersteuerung vor externen Störungen mit galvanischen Trenntransformatoren geschützt. Damit bleiben die Bordkommunikations- und Steuerungssysteme intakt und arbeiten in idealem Zustand. Die Maschine ist mit intuitiven Bedienoberflächen einfach zu bedienen und bietet ein umfassendes Angebot an Support-Services für Installation, Anwendung und Wartung. MATTSON bietet auch Software-Tools für die Datenerfassung und die Rückverfolgbarkeit von Wafern, mit denen Benutzer die vollständige Kontrolle über ihre Ätz-/Auswertungsprozesse haben können.