Gebraucht MATTSON Aspen III #9190468 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9190468
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Light etcher, 12"
No multiple level security
No pressure pascal unit
No TM pump share
Maximum forward RF power (Set point and read back) head A to F: 3000
Maximum reflected RF power (Read back) head A to F: 3000
RF Generator type chamber 1, 2 and 3: AE RFG-3
No wafer ON paddle sensors
UNIVERSAL Remote pump
No LP access mode indicator
No CHI VAT valve
CHI Gas box
CH2 and CH2 Gas box: UNIVERSAL
No CH1 VAT valve
CH2 and CH3 VAT Valve
(2) Loadport load LED indexes
(5) Loadport unload LED indexes
Loadport manual mode LED index
(9) Loadport handoff button indexes
(8) Loadport Err LED indexes
No CH1 manometer analog cable
CH2 and CH3 Manometer analog cable
No CH1, CH2 and CH3 fast preheat
Fast preheat maximum VAT valve angle: 100
No CH1, CH2 and CH3 back robot Z-motion enabled
No CH1 source cooling
Communications port: 36 (2 NT)
Light curtain type: System
RF Strike option: Fix strike
RF Strike timeout: 5S
Hd-Hd Plasma strike timeout: 3S
No check wafer slide sensor
Chiller
Routing type: Standard
Lite etch settings
No independent lift pin monitoring
Tag reader type: Hermos 1
(2) CH1, CH2 and CH3 N2 Gas lines
Start verity interface: Manual
MFC Check: Standard
(2) Gas purge lines
No 3-stages pump down for load-lock
No E84 AMHS stop bit
No request host time set
No LL wafer cooler
Chiller signal display: Chiller
No LL pump purge
No LL cross flow
No UPC
No wafer shift sensor
Run time (Min): 384,009
Wafer count: 463,919
Total run time: 3,242,784
Total wafers: 6,534,874
MFC Type: Unit 1661
Disks: MC and GUI
Gases: O2, N2, CF4, H2/N2: 4%
2008 vintage.
MATTSON Aspen III ist eine hochpräzise Trockenätzasche, die eine Vielzahl von qualitativ hochwertigen Ätzaufträgen für Silizium, Diamant und andere Materialien bietet, die ein präzises Ätzen erfordern. Dieser Ascher ist mit einem robusten Edelstahlrahmen für unübertroffene Zuverlässigkeit gefertigt, und seine vertikale Kammer Design verfügt über ein großes 6-Zoll-Thermofeld mit einstellbaren Ätzraten. Mit Aspen III können Anwender verschiedene Materialschichten präzise und präzise durchätzen. MATTSON Aspen III ist mit einem fortschrittlichen gepulsten Ätznetzteil ausgestattet, das wiederholbare und präzise Ätzergebnisse ermöglicht. Diese Maschine kommt mit einer Vielzahl von Ätzchemien, die verwendet werden können, um effektiv durch verschiedene Materialien zu ätzen, einschließlich Silizium, Diamant, Galliumnitrid und viele andere. Darüber hinaus verfügt dieser Ascher über eine erweiterte lasergestützte Ätzfunktion, die präzise Markierungen und Bildtreue direkt auf das Substrat liefert. Aspen III verfügt über einen vollautomatischen Betriebsmodus, der es Benutzern ermöglicht, wiederholte Ätzaufträge mit einer einzigen Taste einfach einzurichten und zu programmieren. Es verfügt auch über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer aktuelle Ätzinformationen, einschließlich Quarztemperatur, Druck und Plasmadichte, schnell ermitteln können. Dadurch wird sichergestellt, dass Anwender Prozessparameter präzise und konsistent pflegen können. MATTSON Aspen III ist mit einem integrierten Plasmazündnetzteil ausgestattet, das Probleme im Zusammenhang mit Verschmutzung oder Überätzen verhindert. Dieser Ätzascher ist auch vollständig mit den Vakuum-Gasgesetzen konform und wurde entwickelt, um regulatorische Anforderungen und Sicherheitsprotokolle aufrechtzuerhalten. Es kommt auch mit Funktionen wie Überwachung, Prozessalarmüberwachung und automatische Abschaltfunktion, so dass Benutzer mit Vertrauen arbeiten können. Aspen III ist in der Lage, ausgezeichnete Ätzergebnisse aufgrund seines präzise einstellbaren thermischen Feldes und seiner optimierten Hochspannungsversorgung zu erzielen, die von 5 Volt bis 100 Volt reichen kann. Diese Funktionen machen MATTSON Aspen III zu einer ausgezeichneten Wahl für alle, die qualitativ hochwertige Ätzergebnisse benötigen. Es ist die perfekte Lösung für Ätzprozesse auf schwierigen Materialien wie Silizium oder Diamant und bietet hochwertige Ergebnisse zu geringen Kosten.
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