Gebraucht MATTSON Aspen #293774634 zu verkaufen
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ID: 293774634
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
System, 8"
Process: PR Asher
MATTSON Standard dual arm robot
Back chamber: RISSHI EXH-1004 Chiller
Utility box: PCW Distribution
Chamber position:
Back chamber: ICP Asher
Side chamber: ICP Asher
Back and side chamber:
Process: PR Asher
Tube material: Quartz
ADVANCED ENERGYE RFPP 30S RF Generator
TRAZAR AMU-10D-3 RF Matcher
CMLB-11506 Pressure guage
MDV018 Throttle valve
ACX120103 Throttle valve controller
PARTLOW MIC 2000 Temperature controller
Gas box:
Gas-1: O2, 5000 SCCM
Gas-2: O2, 200 SCCM
Gas-3: CF4, 300 SCCM
Gas-4: H2/N2, 3000 SCCM
Transformer: 200 VAC - 100 VAC
1999 vintage.
MATTSON Aspen ist ein führender Hersteller von Ätz- und Ascheanlagen, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden. MATTSON wurde 1988 gegründet und hat sich einen guten Ruf für die Herstellung fortschrittlicher, zuverlässiger und leistungsstarker Ätz- und Aschwerkzeuge erworben, die den anspruchsvollen Anforderungen des Halbleiterherstellungsprozesses gerecht werden. Aspen-Serie von Ätzern und Aschern sind entworfen, um präzise und einheitliche Ätz- und Ascheprozesse zu liefern, die für die Herstellung von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen unerlässlich sind. Diese Werkzeuge werden in Halbleiterherstellungseinrichtungen eingesetzt, um Material während des Herstellungsprozesses selektiv von der Oberfläche von Wafern zu entfernen. Die MATTSON Aspen Serie bietet eine Reihe von Ätz- und Veraschungslösungen, die auf verschiedene Verarbeitungsbedürfnisse und Anwendungen zugeschnitten sind. Diese Werkzeuge sind für ihre Vielseitigkeit, Genauigkeit und Effizienz bei der Verarbeitung verschiedener Materialien bekannt, darunter Silizium, Siliziumdioxid, Metallfolien und Dielektrika. Ein Hauptmerkmal der Aspen-Serie ist die erweiterte Prozesskontrolle. Diese Werkzeuge sind mit fortschrittlichen Überwachungs- und Steuerungssystemen ausgestattet, die präzise Prozessparameter wie Ätzrate, Selektivität, Gleichmäßigkeit und Endpunkterkennung gewährleisten. Dies ermöglicht es Halbleiterherstellern, hohe Prozesswiederholbarkeit und -ausbeute zu erreichen, entscheidende Faktoren bei der Erzielung konsistenter Bauelementleistung. MATTSON Aspen Ätzer und Ascher sind auch mit einem Fokus auf Produktivität und Flexibilität konzipiert. Diese Werkzeuge wurden entwickelt, um einen hohen Durchsatz und schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeiten zu liefern, so dass Halbleiterhersteller enge Produktionspläne einhalten und die Waferleistung maximieren können. Darüber hinaus bieten die Tools einen modularen Aufbau, der eine einfache Anpassung und Upgrades ermöglicht, um sich an sich ändernde Prozessanforderungen anzupassen. In technischer Hinsicht umfasst die Aspen-Serie fortschrittliche Plasmaätz- und Aschetechniken, um eine präzise und kontrollierte Materialentfernung zu erreichen. Diese Werkzeuge verwenden eine Reihe von Plasmaquellen, einschließlich induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), kapazitiv gekoppeltes Plasma (CCP) und reaktives Ionenätzen (RIE), um Materialien mit hoher Selektivität und Gleichmäßigkeit zu ätzen und zu aschen. MATTSON Aspen-Werkzeuge verfügen auch über innovative Kammerdesigns und Gaszufuhrsysteme, die die Prozessgleichmäßigkeit optimieren und die Ätz- und Ascheleistung verbessern. Die Werkzeuge sind mit HF-Netzteilen, Gasflussreglern, Temperaturregelsystemen und Endpunkterkennungssensoren ausgestattet, um eine genaue Prozesskontrolle und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus wird die Aspen-Serie durch ein umfassendes Service- und Supportnetzwerk unterstützt, einschließlich Wartung, Schulung und Anwendungsunterstützung, um Kunden bei der Optimierung der Werkzeugleistung und der Maximierung der Betriebseffizienz zu unterstützen. MATTSON Team aus erfahrenen Ingenieuren und technischen Spezialisten arbeitet eng mit Kunden zusammen, um ihre spezifischen Prozessherausforderungen anzugehen und die erfolgreiche Umsetzung der Tools sicherzustellen. Insgesamt sind MATTSON Aspen-Radierer und Ascher innovative, zuverlässige und leistungsstarke Werkzeuge, die eine entscheidende Rolle spielen, um Halbleiterherstellern eine hochwertige Geräteherstellung zu ermöglichen und den Anforderungen der sich schnell entwickelnden Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Mit einem starken Fokus auf fortschrittliche Prozesssteuerung, Produktivität und technologische Innovation sind Aspen-Werkzeuge gut für Halbleiterherstellungseinrichtungen geeignet, die nach Exzellenz bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen streben.
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