Gebraucht MATTSON Paradigm SI #293820191 zu verkaufen

MATTSON Paradigm SI ist die neueste elektrochemische Ätztechnologie und ist präzise und leistungsstark konzipiert. Das großflächige Ätzverfahren zeichnet sich durch hohe Dichte und kostengünstige Prozessmaterialien aus. Der optimale Einzelwafer-Prozess ist für 1 µm quadratisches Array-Ätzen bei ausgezeichneter Gesamtausbeute optimiert und beseitigt perfekt jedes Risiko eines Kantenabzugs oder damit verbundener elektrischer Defekte. Die effiziente Single-Wafer-Verarbeitung von Paradigm SI führt zu erheblichen Einsparungen bei den Nacharbeitskosten im Zusammenhang mit Doppel- oder Dreipassverfahren. MATTSON Paradigm SI ist ideal für Anwendungen, die hochpräzise Ätzfunktionen mit sehr gleichmäßigen Profil- und Querschnittseigenschaften erfordern. Dieses Verfahren ermöglicht es auch, hohe Seitenverhältnisätzungen zu erzielen, indem speziell entwickelte Fenstermasken verwendet werden, die in Verbindung mit mehrstufigen Ätzprozessen verwendet werden können. Die außergewöhnliche Gleichmäßigkeit der geätzten Eigenschaften macht dieses Ätzwerkzeug sowohl für MEMs als auch für mikrofluidische Geräte ideal. Die Anlage ist auch in der Lage, je nach den Anforderungen des Ätzprozesses sowohl trockene als auch nasschemische Ätzvorgänge durchzuführen. Der Trockenätzanteil des Prozesses wird unter Verwendung einer niederfrequenten, hochspannenden Wechselstromversorgung durchgeführt, die mit einem zweistufigen Verfahren arbeitet; die erste Stufe konzentriert sich auf die Verringerung des Zustands der Oberflächenreinheit, während die zweite Phase die Ätzphase ist. Das Naßätzverfahren erfolgt unter Verwendung einer Kombination aus hochwählbarer chemischer Flüssigchemie, wie Flußsäure, Schwefelsäure usw. Paradigm SI profitiert auch von einem intelligenten Überwachungssystem, das den gesamten Ätzprozess überwacht, von der Substrataufbereitung bis zum Endprodukt. Dies gewährleistet Wiederholbarkeit und Vorhersagbarkeit sowohl bei Laserablation als auch bei geätzten Ergebnissen, da der Monitor kontinuierlich Rückmeldungen zur Ätzrate, Sputterausbeute und anderen verwandten Parametern liefert. Das Gerät ist außerdem mit einer Überwachungssteuerungsmaschine zur Steuerung aller Werkzeugfunktionen und Parameter integriert, die es dem Anwender ermöglicht, den Ätzfortschritt im Laufe der Zeit sowie die vollständige Rückverfolgbarkeit der Prozesse zu verfolgen. Insgesamt ist MATTSON Paradigm SI ein hochentwickelter Ätzer mit Funktionen und Funktionen, die es perfekt für Anwendungen machen, die zuverlässige, wiederholbare und reproduzierbare geätzte Funktionsergebnisse benötigen. Dieses Asset ermöglicht eine Vielzahl von Ätzprozessen, ist in der Lage, hohe Seitenverhältnisätzungen zu handhaben und bietet eine hervorragende Prozesssteuerung und Rückverfolgbarkeit.