Gebraucht MATTSON Paradigm SI #9231982 zu verkaufen

MATTSON Paradigm SI ist ein Ätzer/Ascher, der für die Verarbeitung von Dick- und Dünnschichtschaltungen verwendet wird. Dieses Gerät bietet eine vielseitige Plattform für verschiedene Arten von Ätz- und Ascheprozessen. Das System verfügt über eine „schwimmende“ Prozesskammer, die die Notwendigkeit einer Vakuumquelle eliminiert, was zu einer sauberen und wiederholbaren Prozessumgebung führt. Die zweiteilige Ausführung besteht aus einer rotierenden Sechskammer-Ätz- und Aschestation und einer Prozessstation, die durch eine erhöhte Wand von der Vakuumumgebung der Ätz-/Aschekammer isoliert ist. Die sechs Ätz- und Aschekammern von Paradigm SI sind mit anpassbaren HF- und Mikrowellenquellen ausgelegt, so dass der Benutzer mehrere Prozesse in einer einzigen Charge einrichten kann. Die Kammern beinhalten auch eine digitale Leistungssteuerung zur Optimierung des Prozesses und der Prozesssteuerung zur Durchführung von End Point Monitoring (EPM). Die sieben Prozessstationen von MATTSON Paradigm SI geben dem Anwender die Möglichkeit, bis zu sieben Metallschichten in einem Lauf abzuscheiden. Die Prozessstationen sind zur Sputterabscheidung, Elektroabscheidung und stromlosen Abscheidung ausgebildet. Neben den Ätzungen und Aschen bietet Paradigm SI eine Vielzahl von Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, einschließlich eines erweiterten Softwarepakets zur präzisen Prozesssteuerung. Auf diese Weise können Rezepte in die Einheit geschrieben und Ergebnisse in Echtzeit verfolgt werden, so dass der Benutzer Prozesse einfach ändern und programmieren kann, ohne Steuerparameter manuell anpassen zu müssen. MATTSON Paradigm SI ist auch in der Lage, wiederholbare Prozesse durchzuführen, indem eine fortschrittliche Düsenbaugruppe verwendet wird, die aus einer dreiachsigen Düsenhalterung, einem zweiachsigen Messerkantenhandhaber und einstellbaren keramischen Strömungsbechern besteht. Dies ermöglicht eine gleichmäßige gleichmäßige Ätzung und Verarbeitung von Dick- und Dünnschichtschichten, was zu einer zuverlässigen Hochleistungsschaltungsverarbeitung führt. Die einzigartigen eingebauten Reinigungsmechanismen von Paradigm SI helfen, die Prozesskammer, Düsen und Zubehör während jedes Prozesses zu erhalten. Die Maschine bietet automatische Reinigungsfunktionen sowohl für das Innere und das Äußere der Prozesskammer als auch für die Düsenanordnung. Dies bietet eine effiziente und konsistente Umgebung für eine qualitativ hochwertige Kreislaufverarbeitung und minimiert das Risiko einer Kreuzkontamination. Insgesamt ist MATTSON Paradigm SI ein hochentwickeltes Etcher/Asher-Tool mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen und Funktionen. Seine präzisen und wiederholbaren Prozesse ermöglichen den Anwendern eine gleichbleibend zuverlässige und qualitativ hochwertige Schaltungsverarbeitung. Seine Vielseitigkeit und erweiterte Überwachungsfunktionen machen es auch zu einem unschätzbaren Werkzeug für moderne Schaltungsherstellung und Prozesssteuerung.