Gebraucht MATTSON Paradigm SI #9236728 zu verkaufen

MATTSON Paradigm SI
Hersteller
MATTSON
Modell
Paradigm SI
ID: 9236728
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
PR Asher system, 12" 2012 vintage.
MATTSON Paradigm SI ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung für die fortschrittliche Halbleiterproduktion. Es handelt sich um ein speziell konfiguriertes System, das den Anforderungen der hochentwickelten Halbleiterproduktion und -verpackung gerecht wird. Mit einer einzigartigen Kombination aus Ätz- und Aschermaschinen bietet Paradigm SI branchenführende Funktionen, Flexibilität und Kosteneinsparungen. Auf die Einheit wird gebaut ein starker ätzt Plattform, das schnelllaufende Zeigen stößt ätzen Prozessoptimierung und zuverlässige Absetzungsabsetzungstechnologien. Es ist mit einer Reihe von Präzisionsprozesssteuerungen ausgestattet, einschließlich O2-Plasmaätzfähigkeiten, Keramikmaskentechnologie und zusätzliche Hochfrequenzrezeptoptimierung für erhöhte Produktivität. Der modulare Aufbau ermöglicht es dem Anwender auch, Standardkomponenten einfacher zu integrieren, um die Maschinenleistung zu verbessern. Die Ashing/Deposition-Funktionen von MATTSON Paradigm SI sind erstklassig. Dazu gehören Funktionen wie hochpräzise Seitenverhältnisregelung, einstellbare Quellenstrahlwinkel und hochauflösende Kanalisierung. Es beinhaltet auch Präzisions-Binärdithering für die Erstellung von fein gemusterten Funktionen, zusammen mit erweiterten Abscheidungsprofilen, optimiert für spezifische Geräteeigenschaften. Seine erweiterten Wafer-Handhabungsfunktionen enthalten die neuesten Fortschritte in der Wafer-Handhabung, um den höchsten Durchsatz zu bieten. Dazu gehört auch der Einsatz eines voll integrierten, hochauflösenden Vision-Tools mit Wafer-, Dielektrikum- und Resistbeschichtungsautomatisierung. Es enthält auch ein thermisches Nanoimprinting-Setup, das den Durchsatz verbessern und die Prozessvariation minimieren soll. Die Benutzeroberfläche von Paradigm SI beinhaltet professionellen Support für Wartung und Betreiber von Stationen und bietet echte Funktionen zur Vermögenssteuerung, Automatisierung und Leistungsanalyse. Dazu gehören Funktionen wie detaillierte Bildschirme der grafischen Benutzeroberfläche, leistungsstarke Prozessbestätigungsfunktionen, einfache Modellkonfiguration und vieles mehr. Zusätzlich ist das Gerät mit Echtzeit-SPC-Compliance-Monitoring ausgestattet, das die Betreiber über wichtige Prozessparameter informiert. Insgesamt bietet das MATTSON Paradigm SI Ätz- und Aschersystem Halbleiterproduktions- und Verpackungsvorgänge mit branchenführenden Produktionsmöglichkeiten. Die fortschrittlichen Ätz- und Aschersysteme sowie vielseitige Prozesssteuerungen, eine robuste Wafer-Handhabung und eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche machen es zu einer idealen Einheit für die Durchführung fortschrittlicher Prozesse.
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