Gebraucht MATTSON Paradigm SI #9236729 zu verkaufen

MATTSON Paradigm SI
Hersteller
MATTSON
Modell
Paradigm SI
ID: 9236729
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
PR Asher systems, 12" 2011 vintage.
MATTSON Paradigm SI ist ein Ätzer/Ascher, der in einer Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen eingesetzt wird. Es bietet eine Vielzahl von Prozesskontrolltechniken, die eine feinjustierte Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses ermöglichen. Es verwendet einen Laserstrahl, um den Ätz-/Ascheprozess zu lenken, einen auf Mikroprozessoren basierenden Controller, um die Prozesssteuerung zu erleichtern, und eine Hochgeschwindigkeits-Abtastausrüstung, um Prozessinformationen wie Temperatur, Druck und Strom zu verfolgen. Die Technologie wird hauptsächlich in der Halbleiter- und MEMS-Industrie zur präzisen Strukturierung von Leitungen, Vias, Spuren und Speicherbauelementen eingesetzt. Paradigm SI kann eine Vielzahl von Ätz- und Aschematerialien wie Metalle, Silizium und Kunststoffe unterstützen. Das System bietet auch eine Reihe von erweiterten Optionen, wie Maskierung und Verzögerung Steuerung. MATTSON Paradigm SI verwendet fortschrittliche Ätz- und Aschetechniken wie Richtätzen und Glühen. Diese Techniken sind so konzipiert, dass sie Hochtreue-Musterung und ein konsistenteres und zuverlässigeres Ätz-/Ascheergebnis gewährleisten. Bei Richtätzen und Glühen wird die Menge des auf dem Substrat geätzten Ätz-/Aschematerials gesteuert, indem der Laserstrahl auf eine bestimmte Stelle fokussiert und gleichzeitig das Substrat erwärmt wird. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Ätztiefe und gleichmäßige Ätzeigenschaften. Die Einheit verwendet auch eine dreidimensionale Ätzkammer. Diese Kammer ermöglicht die Verarbeitung von langen und komplexen Formen, die nicht mit regelmäßigen Ätztechnologien erreicht werden können. Die 3D-Ätzkammer fügt auch Maßhaltigkeit hinzu, da sie hilft, die Maßeinheitlichkeit des geätzten Musters beizubehalten. Die Maschine bietet auch programmierte Ätz- und Aschefunktionen. Im Programmiermodus kann Paradigm SI auf Basis eines vordefinierten Befehlssatzes ätzen und verarbeiten. Dies ermöglicht ein ausgeklügeltes und schnelles Routing von Komponenten sowie das präzise Ätzen spezifischer Muster. Es bietet auch eine Variationsfunktion, bei der der Programmierer den Ätzprozess in Echtzeit ändern kann, ohne den Prozess zu stoppen. Insgesamt ist MATTSON Paradigm SI ein leistungsstarkes Ätz- und Veraschungstool, das erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, Präzisionsätzen/Veraschen und ein äußerst zuverlässiges und konsistentes Asset bietet. Es kann in einer Vielzahl von Branchen und Forschungsanwendungen eingesetzt werden und ist eine zuverlässige und kostengünstige Wahl für feinjustiertes Ätzen und Aschen.
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