Gebraucht MATTSON Paradigm #9222745 zu verkaufen

Hersteller
MATTSON
Modell
Paradigm
ID: 9222745
Wafergröße: 12"
PR Asher system, 12" Process: Etch (2) Twin chambers.
MATTSON Paradigm ist ein anspruchsvoller und äußerst zuverlässiger Ascher (oder Ätzer) für die Herstellung von Mikrochips und anderen Komponenten in der Elektronikindustrie. Es ist für die Serienfertigung komplizierter elektronischer Komponenten ausgelegt und verfügt über eine automatisierte Mehrkammerausrüstung zur Ätzprozesssteuerung. Paradigma besteht aus mehreren miteinander verbundenen Kammern. Die EMD (Ätzkammer) ist die Primärkammer und weist zwei Präzisionsspindeln auf, die zur Erzielung des gewünschten Mikrochipmusters eine achtrichtende Bewegung ermöglichen. Der ARC (Arcing Room) ist die zweite Kammer und soll eine hochpräzise Umgebung für die Dünnschichtabscheidung bieten. Schließlich ist die LE (Lasergravierkammer) entworfen, um hohe Auflösung und Genauigkeit beim Chipmusterdesign zu erreichen. MATTSON Paradigm verfügt auch über ein Prozessleitsystem mit bearbeitbaren Einstellungen zur präzisen Steuerung von Ätzoperationen. Die Ätzparameter werden vom Bediener auf optimale Effizienz und Genauigkeit weiter feinjustiert. Die Einheit ermöglicht es, mehrere Rezepte zu speichern und leicht zugänglich zu machen. Dies ermöglicht den Betrieb mehrerer Aufträge von einer Maschine aus und die gleichzeitige Bearbeitung verschiedener Materialien. Um höchste Präzision und Genauigkeit zu gewährleisten, verwendet Paradigm fortschrittliche Maschinendiagnose. Dazu gehört die kontinuierliche Überwachung von Ätzkammertemperatur und -druck, Spindelposition, Laserstrahlleistung, Musterorientierung und der verbleibenden Photoresistmenge. Diese Parameter werden auch bei jedem Auftrag gespeichert und neu eingestellt, um die Chipmustergenauigkeit und -ausbeute zu maximieren. MATTSON bietet auch ein einzigartiges thermisches Einweichwerkzeug, um die Ätzkammertemperatur zu schützen und die Gleichmäßigkeit der geätzten Folie zu fördern. Dies verlängert die Lebensdauer der Ätzkammer und ermöglicht einen höheren Durchsatz. Insgesamt ist MATTSON Paradigm eine ideale Lösung für die Serienfertigung komplizierter Bauteilkonstruktionen. Seine Eigenschaften unterscheiden es als Go-to-Asset für schnelles und genaues Chip-Ätzen. Das automatisierte Mehrkammermodell gewährleistet eine optimale Prozesskontrolle und seine fortschrittliche Diagnoseausrüstung sorgt für höchste Präzision und Genauigkeit und ist somit eine ideale Lösung für jede Anwendung, die präzises Mikrochip-Ätzen erfordert.
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