Gebraucht MATTSON Paradigme SI #9259601 zu verkaufen

ID: 9259601
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Etcher, 12" 2011 vintage.
MATTSON Paradigm SI ist eine fortschrittliche Ätz-/Aser-Ausrüstung zur präzisen Strukturierung einer Vielzahl von Materialien für den Einsatz in der Geräteherstellung. Das System besteht aus drei Hauptkomponenten: einer ultrahochauflösenden Abtasteinheit, einem Vakuumzuführungsmechanismus und einem druckgesteuerten Gas zusammen mit einer eigenen Musterkammer. Die Abtastmaschine verwendet patentierte Scantechnologie, die dazu beiträgt, dass das Substrat für optimale Ätzausbeuten gleichmäßig belichtet wird. Das Werkzeug ist für die höchstmögliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Strukturierung Prozessparameter im Laufe der Zeit entwickelt. Darüber hinaus verwendet das Asset eine erweiterte Software-Suite, die Benutzern eine beispiellose Kontrolle über den Ätzprozess bietet. Der Vakuumzuführmechanismus ist so ausgelegt, dass er eine kontrollierte Umgebung für den Ätzprozess bereitstellt. Dieses Vakuumzuführungsmodell eliminiert jegliches Restgas in der Kammer und trägt dazu bei, dass die Ätzprozessparameter im Laufe der Zeit konsistent bleiben. Darüber hinaus trägt diese Ausrüstung dazu bei, dass die Mustermuster physikalisch auf die vorhandenen Substratkonturen ausgerichtet sind. Das druckgesteuerte Gas sorgt für eine genaue und gleichmäßige Verteilung des Ätzmittels. Dieses System verwendet eine Strömung des Ätzmittels, um die Ätzkammer kontinuierlich zu füllen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzvorgang gleichmäßig und mit maximaler Effizienz abläuft. Darüber hinaus bietet diese Einheit eine präzise Steuerung des Drucks und der Konzentration des Ätzmittels, je nach Bedarf für eine optimale Strukturierung. Die spezielle Musterkammer ist so konzipiert, dass sie eine schnelle Strukturierung mehrerer Schichten gleichzeitig oder für vollständige Muster mit einem einzigen Durchgang ermöglicht. Diese Kammer ist in der Lage, die Ätzumgebung genau und wiederholt zu steuern, um sicherzustellen, dass jedes Muster perfektioniert wird, ohne dass eine umfangreiche Nachbearbeitung erforderlich ist. Dies hilft, die Produktionszeit und -kosten insgesamt zu reduzieren. Insgesamt ist MATTSON Paradigm SI eine fortschrittliche Ätz-/Aser-Maschine, die eine zuverlässige und kostengünstige Möglichkeit bietet, komplexe Muster auf einer Vielzahl von Materialien zu produzieren. Die Kombination aus ultrahochauflösender Scan-Technologie, einem Vakuum-Zufuhrmechanismus und druckgesteuertem Gas bietet Anwendern eine beispiellose Steuerung des Ätzprozesses. Darüber hinaus trägt die eigene Musterkammer dazu bei, dass jedes Muster korrekt ausgerichtet und mit minimaler Nachbearbeitung perfekt ist.
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