Gebraucht MATTSON Suprema IM #9241281 zu verkaufen

MATTSON Suprema IM ist eine automatisierte, plasmabasierte Nassätz- und Aschevorrichtung für die Verarbeitung von Substraten bis 200 mm. Es ist ideal für die Herstellung von Halbleitern, Dünnschichten und MEMS-Bauelementen und verarbeitet Silizium, GaAs, Polyimid und andere geätzte Substrate. Die vielseitige Plattform bietet Anwendern die Möglichkeit, in einem einzigen Werkzeug mit Substratgrößen bis 200 mm zu ätzen und zu veraschen. Suprema IM ist ein fortschrittliches Ätzsystem mit hochreiner Gaszufuhr, präziser Plasmakontrolle und Temperaturregelung für fortschrittliche Prozessoperationen. Es verwendet die Conac™ leitenden Ätzchemien und verarbeitet eine breite Palette von Materialien wie Substrate auf Siliziumbasis zu Metallen und dielektrischen Materialien, alle in einem Werkzeug. Die Ätzfunktion in MATTSON Suprema IM bietet einen Tieftemperaturbetrieb, der die Kontamination minimiert und mehrere Ätzschritte unter Beibehaltung der Substratqualität ermöglicht. Neben dem Ätzen verfügt Suprema IM auch über ein plasmabasiertes Aschverfahren. Es bietet einen Plasmaascheprozess mit kontrollierter Flüchtigkeit, der eine hohe Ascheselektivität in einem einzigen Prozess erzeugt. Dieses Verfahren nutzt entfernte Plasmen oder induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), um eine Niedertemperatur-Ascheentfernung von dielektrischen Restfilmen zu ermöglichen. Die sauren Chemikalien in der Anlage bieten eine überlegene Sauberkeit gegenüber den verarbeiteten Materialien. MATTSON Suprema IM ist mit seinen umfassenden schlüsselfertigen Paketen konfigurierbar und verfügt über verschiedene Benutzereinstellungen für jede Verarbeitungskammer für optimale Wiederholbarkeit. Es bietet auch Windows/Mac-basierte Benutzeroberflächen, in denen Benutzer verschiedene Funktionen wie Prozessrezepte, Verbindung zu Datensystemen und Remote-Maschinenzugriff steuern können. Mit seiner Datenbank-Funktion können Benutzer Rezepte speichern und abrufen und Parametereinstellungen für eine schnellere Prozessausführung speichern. Um eine effektive Wartung und Fehlerbehebung zu gewährleisten, bietet Suprema IM eine vorausschauende Wartungsplattform, eine integrierte Plattform, die die Maschine überwacht und Benutzer auf Probleme oder potenzielle Probleme aufmerksam macht. Das Werkzeug ist auch mit einem hohen Maß an Sicherheitsmerkmalen ausgelegt, die die Exposition des Bedieners gegenüber Gefahrstoffen während des Betriebs reduzieren. Insgesamt ist MATTSON Suprema IM ein fortschrittliches und vielseitiges Nassätz- und Aschewerkzeug, das für eine breite Palette von Anwendungen in der Halbleiter-, Dünnschicht- und MEMS-Geräteherstellung geeignet ist. Es verfügt über eine hochkonfigurierbare Benutzerplattform, eine automatisierte Datenbank, vorausschauende Wartung und erweiterte Sicherheitsfunktionen für mehr Produktivität und Ertrag.