Gebraucht MATTSON Suprema IM #9257461 zu verkaufen

Hersteller
MATTSON
Modell
Suprema IM
ID: 9257461
System.
MATTSON Suprema IM ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine für die Halbleiterindustrie. Suprema IM ist in der Lage, mehrere hundert Wafer in einer einzigen Charge zu verarbeiten, was es zu einer idealen Wahl für jeden hohen Serienbedarf macht. Es verfügt über einen hohen Durchsatz, niedrige Betriebskosten und eine kürzere Markteinführungszeit. MATTSON Suprema IM bietet erweiterte Prozessfunktionen und schnelle Durchsatzraten. Es arbeitet mit einem niederdruckgekühlten Ätzprozess, der dann dynamisch mit einem breiten Chemikalienspektrum bei unterschiedlichen Kapitalitäten und Temperaturen gekoppelt wird. Dies bietet eine überlegene Gleichmäßigkeit beim Ätzen und Aschen sowie niedrige Defektwerte. Es verfügt auch über eine erweiterte Temperaturregelung, die es dem Benutzer ermöglicht, die Ätz- und Ätztiefen für die Feinstrukturierung zu optimieren. Es hat einen skalierbaren Durchsatz von bis zu 80 Wafern pro Stunde und ist mit automatischem Nivellieren ausgestattet, um in jedem Zyklus genaue Ätztiefen zu gewährleisten. Suprema IM ist mit robuster Konstruktion konzipiert, so dass es sehr langlebig und zuverlässig ist. Es kommt mit peripheren Paketen einschließlich einer Basis, Ätz- und Aschesysteme, Prozess Rezeptmodule, Gehäuse und eine Grundheizung. Es hat auch die Fähigkeit, mit anderen MATTSON Prozessinspektions- und Überwachungssystemen für hohe Ausbeute und hohe Ausbeute Fehlerreduktion integriert werden. Es ist kompatibel mit den meisten branchenüblichen Wafer-Demount- und Feed-Systemen, einschließlich denen, die mit ARMPAX Wafer-Handling-Systemen kompatibel sind. MATTSON Suprema IM ist sehr einfach zu bedienen. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur Anpassung der Prozessbedingungen und zur Verwaltung von Jobs. Es verfügt auch über einfachen Transport und Handhabung, und verfügt über erweiterte Fehlererkennung und Recovery-Funktionen. Darüber hinaus bietet sein Prozessüberwachungssystem Echtzeit-Analysen und Warnungen für schnelle Korrekturmaßnahmen. Insgesamt ist Suprema IM ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der auf die Halbleiterindustrie zugeschnitten ist. Es bietet überlegene Prozessfunktionen, schnelle Durchsatzraten, robuste Konstruktion, intuitive Benutzeroberfläche und erweiterte Funktionen zur Fehlererkennung und -wiederherstellung. Als solches ist es eine ideale Wahl für jede Serienumgebung.
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