Gebraucht MATTSON Suprema #9358706 zu verkaufen

MATTSON Suprema ist ein zuverlässiger, langlebiger und hochpräziser Ätzer/Ascher für verschiedene Anwendungen im Wafer-Herstellungsprozess. Es wurde entwickelt, um eine überlegene Temperaturgleichförmigkeit und eine optimale kritische Dimensionskontrolle zur Verfügung zu stellen, um die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Das Gerät enthält eine polarisierte Plasmaquelle und eine Quarzkammer zur Änderung und Verbesserung der Ätzratengleichförmigkeit und der Profilsteuerung. Zu den Konstruktionsmerkmalen gehören auch Hochstromleistung, programmierbarer Stromschritt und ein Hochvakuumsystem für erweiterte Ätzergebnisse. Suprema verfügt über branchenübliche Bedienelemente mit einem Joystick-Controller für einfache Bedienung und Modulauswahl. Das Prozessgas wird über einen Mehrmassendurchflussmesser geliefert und auf präzise Ätzleistung gesteuert. Das Ätzgerät weist eine zweistufige Partikelfiltrationseinheit auf, die zur überlegenen Prozeßwiederholbarkeit beiträgt und Verunreinigungen auf den geätzten Substraten reduziert. Die Maschine ist kompatibel mit einer Vielzahl von Gasen wie Schwefelhexafluorid, SF6, Chlor und so weiter, plus erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich aktives Verdrängungspumpen, automatisiertes Rezept-Laden und ein Probendrehwerkzeug. MATTSON Suprema erleichtert das effiziente und zuverlässige Ätzen verschiedener Substrate. Es verfügt über die Leistung und Funktionalität, um einzelne oder mehrere Wafer gleichzeitig zu ätzen und erreicht eine überlegene Ätzrate Gleichmäßigkeit, höhere Ausbeute und verbesserte Prozessstabilität. Das zweistufige Partikelfiltrationswerkzeug sorgt für optimale Ätzstabilität und zuverlässige Ergebnisse. Die Anlage verfügt auch über kontinuierliche Flussüberwachung, Online-Analyse, automatisches Tuning und Rezeptspeicherung. Suprema definiert Standards in der Ätzleistung. Es vereint hochwertige Komponenten und einen modularen Aufbau, um den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur des Ätzers ist hervorragend für eine präzise Kontrolle kritischer Abmessungen, während die Hochstromleistung und der programmierbare Stromschritt zur Gleichmäßigkeit der Ätzrate beitragen. Das zuverlässige Reinigungsmodell hilft, Kontaminationen auf den geätzten Substraten zu reduzieren. Die benutzerfreundliche Steuerung, die automatisierte Rezeptbeladung und das Probendrehwerkzeug machen das Gerät ideal für eine Vielzahl von Anwendungen im Wafer-Herstellungsprozess.