Gebraucht MAXIS 300L #293586674 zu verkaufen

MAXIS 300L ist ein Ätzer/Ascher zum Tiefätzen und Aschen verschiedener Materialien, einschließlich Metalle, Kunststoffe, Keramik und Silizium. Dieser Ätzer/Ascher kombiniert zwei Ätztechnologien - HF (Fluorwasserstoff) und mp (Metallplasma) - um ein tiefes und gleichmäßiges Ätzen in einer einzigen Kammer zu erreichen. MAXIS 300 L verfügt über eine 15-Zoll-quadratische Kammer aus Edelstahl mit integriertem Sender und Empfängern, die ein vollständiges Vier-Kanal-Ätzen/Aschen ermöglicht. Seine einzigartigen Prozessgase - Uran (U2O2) und Chlor-Hexafluorid (CF6) verstärken beide Ätzeffekte - werden direkt in die Kammer eingespritzt, wodurch eine gleichmäßige Prozessgasverteilung über die gesamte Kammer gewährleistet ist. Dieser Ätzer/Ascher beherbergt 6 Quarzschalen, mit 3 abnehmbaren und 3 befestigten, für die Probenhandhabung. Proben können auf Quarzschalen geladen und mit einem Mechanismus, dem Transfershuttle, in die Kammer übertragen werden. Dieses Shuttle dient auch zum Transport von Probenschalen vom Ätzer/Ascher zu anderen Laboren zur Weiterverarbeitung. 300L ist mit einem integrierten Sicherheitssystem ausgestattet, einschließlich einer automatischen Abschalt- und einer Nothaltetaste (EN). Darüber hinaus ist es so ausgelegt, dass Überdruck verhindert wird, wodurch ein sicherer Betrieb des Ätzers/Aschers gewährleistet ist. 300 L ist ein vollautomatischer Ätzer mit zwei Bedienmodi - voll manuell und semi-auto - und bietet eine breite Palette von Prozessüberwachungstools, einschließlich Schritt-für-Schritt-Wafer-Scan und Mustervergleichsfunktionen. Es kommt auch mit einer 3D-View-Funktion, um Daten grafisch in drei Dimensionen anzuzeigen, so dass der Benutzer einen Blick auf die Prozessergebnisse werfen kann. Das System ist mit einer SPS-Platine (Programmable Logic Control) ausgestattet, die einen synchronisierten Betrieb mehrerer Kammern ermöglicht, sowie einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche, die interaktive Menüs und eine schrittweise Beschreibung jedes für die Auftragsausführung notwendigen Schritts bereitstellt. Darüber hinaus ermöglicht die Software für intelligente Bewegungsanalyse (IMAS) eine schnelle und einfache Kalibrierung von Ätzparametern wie Geschwindigkeit, Druck und Prozesszeit. Mit dieser Software können Benutzer auch Ätzprozesse von einem entfernten Standort aus steuern. MAXIS 300L ist das perfekte Werkzeug zum Tiefätzen und Aschen verschiedener Materialien. Die doppelte Ätztechnologie und das spezielle Design machen es ideal für das Ätzen und Aschen mit hoher Genauigkeit über eine Reihe von Materialien. Es ist für zuverlässige und wiederholbare Leistung konzipiert, bietet erhöhte Sicherheit und verbesserte Prozesskontrolle und ist somit ein idealer Ätzer/Ascher für High-End-Anwendungen.