Gebraucht MAXIS 300L #9216760 zu verkaufen

MAXIS 300L ist ein fortschrittlicher thermischer Ätzer und Ascher zur Herstellung hochauflösender Mikrokomponenten. Es ist eine ausgereifte Plattform, die eine breite Palette von Möglichkeiten für Materialabscheidung, Ätzen und Aschen bietet. MAXIS 300 L verfügt über eine robuste, automatisierte Ausrüstung mit einem maßgeschneiderten Gaseinlass- und Gasverteilungssystem. Es ist so konzipiert, dass ein gleichmäßiger Gasfluss für konsistentes Ätzen und Aschen mit minimaler Restverschmutzung gewährleistet ist. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von Gasen, Substraten und Applikationsdrücken zu handhaben. 300L verfügt über ein erweitertes RIE-Modul (Reactive Ion Etching) mit flexibler Gasflusskonfiguration. Das RIE-Modul unterstützt verschiedene Ätzchemien wie Nassätzen, ICP-Ätzen, FIB-Ätzen und PECVD-Ätzen. Das RIE-Modul ist in einer hermetisch abgedichteten Kammer eingeschlossen und mit einem hochpräzisen Zerstäuber, einer präzisen Gaseinspritzmaschine und einem digitalen Signalverarbeitungswerkzeug ausgestattet. Dies gewährleistet eine engmaschige Steuerung von Ätzparametern wie Leistung und Durchflussrate, um ein gleichmäßiges Ätzen und eine verbesserte Musterdefinition zu erreichen. 300 L verfügt zudem über eine flexible Substratbeladung und Handhabung. Dieses Modell unterstützt eine breite Palette von Substraten, darunter Glas, Quarz und keramische Materialien. Es ist mit einer hochauflösenden Bewegungsstufe ausgestattet, die für Präzision beim Beladen und Ausrichten des Substrats sorgt. Die Ausrüstung hat hohe Temperatur, Niederdruck-Kühlfunktionen, um Überhitzung während der Verarbeitung zu verhindern. MAXIS 300L umfasst auch ein fortschrittliches Ashing-System mit einem hochrangigen Containment-Gehäuse. Dies unterstützt sowohl Nass- als auch Plasmaaschprozesse. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien mit hohen Verarbeitungstemperaturen, Drücken und Chemien zu handhaben. Die fortschrittliche Automatisierungseinheit sorgt für schnelle und konsistente Veraschungsprozesse. MAXIS 300 L ist kompatibel mit verschiedenen bildgebenden und messtechnischen Systemen zur Überwachung von Konstruktionsmerkmalen und In-Process-Tests. Die Maschine verfügt über umfassende Diagnosefunktionen, um eine präzise Anpassung und Optimierung für verschiedene Anwendungen zu ermöglichen. Weitere Merkmale sind anpassbares Gasmanagement und softwaregesteuerte automatische Gasabschaltung. 300L ist eine ideale Plattform für die Herstellung und Modifizierung hochauflösender Mikrokomponenten. Es bietet robuste Leistung, flexible Prozesssteuerung und zuverlässigen Betrieb.