Gebraucht MAXIS 300LA #293586670 zu verkaufen

Hersteller
MAXIS
Modell
300LA
ID: 293586670
ICP Etcher.
MAXIS 300LA ist eine speziell für Produktion, Forschung und Produktentwicklung entwickelte Ätzanlage. Es ist ein horizontales Ätzmittel, das Standard-Halbleiterscheiben bis 300mm Durchmesser verarbeiten kann. Dieses System verfügt über einen automatischen Ladeanschluss, einen Hauptätzschrank, eine Abgasanlage, Zusatzverteiler/Mischer-Geräte und ein LCD mit beiden Optionen für die Serviceüberwachung und für die intuitive Bedienung. Der Automatic Load Port ist ein einfach zu bedienender, roboterartiger Transporter mit zwei Achsen, der die Handhabung von SC-Typ (kugelförmigen) Wafern unterstützt. Es minimiert auch die Chancen einer inakzeptablen Wafer-Fehlausrichtung, erhöht die Produktionseffizienz und bietet eine einfache berührungslose Wafer-Übertragung. Der Hauptschrank von 300LA besteht aus einer Vakuum-Isolationskammer, einem Static-Bed-Druckregler, einem Thermoelement-Druckregler, einem Flowswitch-Druckregler und einem Gasmonitor. Darüber hinaus ist die korrosionssichere metallische Platte der Kammer so ausgelegt, dass keine Kommunikation mit der äußeren Umgebung möglich ist. Dieser Schrank hilft, Druck-, Temperatur- und Gasdurchflussraten für genaues Ätzen zu steuern. Mit der Abgasmaschine wird das Abgasätzbyprodukt von der Ätzkammer weg und aus MAXIS 300LA geleitet. Es verfügt über eine Auspuffplatte und vier Pumpen, die zusammen die sichere Evakuierung von eventuell entstehenden Dämpfen gewährleisten. 300LA umfasst auch Nebenabteiler/Mischer-Geräte, ein Ventilarray, Temperaturregelung und Durchflusssteuerung. Diese Vorrichtungen ermöglichen die genaue Vermischung von bis zu zwei Vorläufergasen in der Ätzkammer, um gleichmäßigere Ätzergebnisse zu erzielen. Schließlich ermöglicht das LCD-Display mit Serviceüberwachungsoptionen und intuitiver Bedienung umfassende Maschineneinstellungen, Prozesssteuerung und Warteschlangen-Werkzeugwartung. Diese Funktion gewährleistet eine maximale Waferfertigung mit minimalem Aufwand vom Bediener. Abschließend ist MAXIS 300LA etching Asset ein zuverlässiges, vielseitiges und leistungsstarkes Werkzeug für die Herstellung, Forschung und Entwicklung von Halbleiterscheiben. Sein automatischer Ladeanschluss sorgt für eine einfache und genaue Wafer-Handhabung, seine korrosionssichere metallische Platte sorgt für keine Kommunikation mit der äußeren Umgebung und sein Abgasmodell sorgt für eine sichere Evakuierung von erzeugten Dämpfen. Seine zusätzlichen Splitter/Mischer-Geräte, Ventilarray, Temperatur- und Gasflusssteuerung und LCD mit Serviceüberwachung und intuitiver Bedienung sorgen für gleichbleibende Qualität und maximale Waferproduktion mit minimalem Aufwand vom Bediener.
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