Gebraucht MAXIS 300LA #293591993 zu verkaufen

MAXIS 300LA ist eine Hochleistungs-Plasmaätzmaschine, die in der Lage ist, eine breite Palette von Materialien in der Mikroelektronik, biomedizinischen und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) zu verarbeiten. Es verfügt über eine große Ätzkammer mit 300mm Durchmesser; ermöglicht eine schnelle, hochpräzise Prozessbearbeitung mit Leichtigkeit; und bietet flexible Workflow-Managementsoftware für die Bedienung und Datenanalyse. Die Maschine verfügt über ein integriertes turbinenbasiertes Vakuumsystem mit einem Druckbereich von 1 x 10-3 bis 5 x 10-3 mbar. Dies ermöglicht das Ätzen von Substraten mit verschiedenen Kammereinstellungen bis zu einer maximalen Temperatur von 400 ° C für Anwendungen mit hoher Ätzrate. Darüber hinaus ermöglicht es schnelle Ansätze mit Prozesseinleitungszeiten von weniger als 3 Minuten. Die hochpräzisen Verarbeitungsfunktionen von 300LA werden weiter durch eine Tabelle von Ätzrezepten ermöglicht, automatisiert mit laserbetriebener Tiefenerfassung und Echtzeit-Merkmalserkennung. Mit diesem System ist der Bediener in der Lage, Merkmalserkennung, Ausrichtung, Rezeptauswahl und schnelle Nachbearbeitungssequenzen zu verfolgen. MAXIS 300LA bietet auch eine schnelle Abkühlung nach dem Ätzen mit Abkühlzeiten von weniger als 3 Minuten. Dieses Kühlsystem ermöglicht auch eine schnelle Waferbearbeitung nach dem Ätzen mit einer durchschnittlichen Zeit von weniger als 3 Minuten. Die Maschine verfügt auch über fortschrittliche Modelle, um thermische, Ätz- und Spannungseffekte auf das Teil zu simulieren, wodurch die Versamtierung zur Optimierung von Prozessparametern ermöglicht wird. 300LA wurde entwickelt, um einen effizienten Betrieb und QS/QS-Konformität zu gewährleisten. Neben Funktionen wie Parametersperre, Post-Process-Data-Tracking und statistischer Prozesssteuerung bietet die Maschine auch Diagnose- und Feedback-Funktionen, die die Wiederholbarkeit der Prozesse sowie die Verfolgung und Rückverfolgbarkeit der Prozesse unterstützen. MAXIS 300LA ermöglicht auch einen vollautomatischen Betrieb und ist damit ideal für hohe Produktionsumgebungen mit eingeschränkten Betreibern. 300LA ist ein leistungsstarker, leistungsstarker Ätzer/Ascher, der eine Vielzahl von Funktionen und Vorteilen bietet, die ihn für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. Es ist eine ideale Wahl für diejenigen, die nach hochpräziser Verarbeitung, schnellen Ergebnissen und niedrigen Prozessausfallzeiten suchen.