Gebraucht MAXIS 300LA #293636259 zu verkaufen

MAXIS 300LA
Hersteller
MAXIS
Modell
300LA
ID: 293636259
Wafergröße: 12"
ICP Etchers, 12".
MAXIS 300LA etcher/asher ist ein fortschrittlicher und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. 300LA wurde entwickelt, um branchenführende Prozesszyklen bereitzustellen, die es Anwendern ermöglichen, Anforderungen an Submikron-Ätzen und -Veraschen zu erfüllen. Es ist in der Lage, mit überlegener Präzision und Wiederholbarkeit zu ätzen und zu aschen. MAXIS 300LA verfügt über eine fortschrittliche chemische Kammer aus Edelstahl und verfügt über ein integriertes Heizelement zur präzisen Temperaturregelung. Dadurch entfallen externe Gasbehälter und eine abgedichtete Kammer für maximale Prozessstabilität. Das integrierte Heizelement ist für einen Temperaturbereich bis 500 ° C geeignet. 300LA verfügt zudem über eine integrierte Vakuumpumpe und eine Druckregelung. Die Vakuumeinheit ist in der Lage, Vakuumniveaus von 10-9 Torr zu erreichen. Die Drucksteuermaschine ist sehr genau und ermöglicht eine präzise Steuerung des Drucks während des Ätz- und Aschevorgangs. Dies gewährleistet eine außergewöhnliche Wiederholbarkeit des Prozesses. Neben der Kammer bietet MAXIS 300LA einen Satz von vier optionalen Kassettenwerkzeugträgern. Diese Träger sind für die Aufnahme einer Vielzahl von Wafern und Substraten ausgelegt. 300LA ist auch mit anwenderwählbaren Programmieroptionen ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Drehgrade, Leistungsstufen, Reaktionszeiten und mehr ermöglichen. MAXIS 300LA etcher/asher liefert zuverlässige und konsistente Ergebnisse. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und seinem robusten Design bietet es eine ideale Lösung für Anwender, die für ihre Halbleiteranwendungen präzises Ätzen und Aschen benötigen.
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