Gebraucht MAXIS 300LA #9402510 zu verkaufen

MAXIS 300LA
Hersteller
MAXIS
Modell
300LA
ID: 9402510
ICP Etcher.
MAXIS 300LA ist ein Hochleistungsätzer/Ascher für viele Arten von Forschungs-, Labor- und Industrieanwendungen. Es bietet unübertroffene Leistung, Geschwindigkeit und Genauigkeit bei Ätz-, Asche- und Entschlüsselungsaufgaben. Es ist für eine Vielzahl von Anwendungen konzipiert, von flachen geätzten Kanälen bis zum Tiefätzen von Wafern. Es verwendet zwei parallele Plasmen, die mit zwei verschiedenen HF-Frequenzen arbeiten, um eine homogene Ätztiefe zu gewährleisten. Die Ätztiefe wird durch 300LA Software genau gesteuert, wodurch sie auch mit einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Halbleitern, Gläsern und Metallen arbeiten kann. Es ermöglicht auch schnelles Radfahren von Ätz- und Ascheparametern und bietet eine hohe Produktivität bei gleichzeitig sehr niedrigen Betriebskosten. MAXIS 300LA besteht aus robusten, zuverlässigen Komponenten, die einen sicheren und ununterbrochenen Betrieb gewährleisten. Es verfügt über eine patentierte Plasmaquelle mit einer 300mm Waferätzkapazität und einer 200mm Waferreinigungskapazität. Es hat auch eine lange Lebensdauer Vakuumpumpe, die niedrige Betriebskosten gewährleistet. Es verfügt über vielseitige und benutzerfreundliche Softwareoptionen, einschließlich Rezepte, Makros und Pulsoptionen. Dies ermöglicht es, die Anforderungen der anspruchsvollsten Applikationsanforderungen zu erfüllen. 300LA kommt auch mit mehreren Zubehörteilen, wie einer Stufenmotor-Schnittstelle, einem Substratheizer und einer Spezies-Massenspektrometer-Schnittstelle. MAXIS 300LA ist ein robustes Ätz- und Aschesystem für den umfangreichen Einsatz. Die leistungsstarken Funktionen, kombiniert mit den Vorteilen der Betriebskosten, geben diesem Tool Platz in den anspruchsvollsten Anwendungen. Seine benutzerfreundlichen Softwareoptionen und Zubehör machen es zu einer idealen Wahl für Forschungsgruppen, Labore und industrielle Ätzanwendungen.
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