Gebraucht MAXIS 300LAH #9409612 zu verkaufen

MAXIS 300LAH ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um ein effektives reaktives Ionenätzen und Aschen verschiedener Materialien wie Siliziumdioxid, Silizium, Glas und Metalle durchzuführen. Die Ausrüstung wird entwickelt, um ausgezeichnete Ätzprofile zu erzielen, die einheitliche und zuverlässige Ergebnisse in einer wettbewerbsfähigen Plattform liefern. 300LAH ist mit einer Vielzahl von Merkmalen für verschiedene Substratmaterialien und Ätz-/Ascheanwendungen ausgestattet. Es ist mit einer 300mm Quarz-Bornitrid (QBN) -Prozesskammer mit einem maximalen Arbeitsdruck von 200 mTorr ausgestattet, wodurch es für verschiedene Ätz- und Ascheprozesse geeignet ist. Die Prozessdruckregelung wird durch eine mehrstufige lineare Schrupppumpe und eine Turbopumpenkombination mit einem Basisdruck von 30 mTorr erreicht. Das System verfügt auch über eine Ätzquelle, Differentialpumpen, Fernerkundung und manuelle Probenbelastung, so dass es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet ist. Die Ätzquelle auf MAXIS 300LAH ist eine Dual-Turbo-Molekularpumpe mit einer einstellbaren horizontalen und vertikalen Ausrichtung, die eine einfache Transformation und eine geätzte Musterorientierung ermöglicht. Es ist mit einem 2-kW-HF-Generator ausgestattet, der bis zu 2200 Watt Leistung liefert, die von einem 500-VDC Netzteil bereitgestellt wird und maximale Flexibilität bei Ätz- und Ascheparametern ermöglicht. 300LAH profitiert auch von einem Präzisionsmembran-Frontlastlift, der es ermöglicht, Substrate und Wafer in einer sicheren Umgebung zu beladen. Ein wesentlicher Vorteil ist auch seine Kipp- und Drehkammerdreheinheit, die es ermöglicht, Wafer bequem für ein gerades und gleichmäßiges Ätzen zu manövrieren. Um eine sichere Umgebung für Benutzer zu gewährleisten, ist MAXIS 300LAH mit einem integrierten Notfallknopf ausgestattet, der die Kammer sofort schließt und die Stromversorgung bei Auslösung abschaltet. Die Maschine profitiert auch von einer kompletten Oberfläche, die über ein intuitives Touchscreen-Display zugänglich ist, so dass Benutzer jeden Schritt des Prozesses überwachen und genau steuern können. Insgesamt ist 300LAH ein effizientes und kostengünstiges Ätz-/Aschewerkzeug, das für verschiedene Anwendungen wie Waferbearbeitung, elektronische Bauteile, keramische Druckplatten und sogar optoelektronische Geräte geeignet ist. Dank seiner umfassenden Funktionen und der intuitiven Benutzeroberfläche ist es das perfekte Werkzeug für alle Ätz-/Aschenanforderungen.