Gebraucht MEMSSTAR ORBIS 3000 #293814967 zu verkaufen

MEMSSTAR ORBIS 3000 ist eine Ätz-/Aschermaschine mit horizontaler und vertikaler Konfiguration, die Prozessflexibilität und hohen Durchsatz ermöglicht. Es basiert auf einer Produktionsklasse-Plattform, die in Halbleiterfabriken und Kommerzialisierungszentren mit bewährter Zuverlässigkeit eingesetzt wird. Dieses System nutzt einen hocheffizienten Plasmaätz-/Ascheprozess, um scharfe Kanten, präzise Muster und gleichmäßige Linienbreiten zu erzielen. ORBIS 3000 umfasst Prozesssteuerungen und -funktionen, um eine fortschrittliche Prozesssteuerung mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Trockenätztechniken bereitzustellen. MEMSSTAR ORBIS 3000 nutzt eine fortschrittliche Gasversorgungseinheit, um einen präzisen und stabilen Gasfluss zu gewährleisten, der konsistente Prozessergebnisse gewährleistet. Darüber hinaus passt der Substrat-Bias-Generator automatisch die Substratvorspannung für die Endpunktdetektion an, um ein gleichmäßiges Ätzen über den Wafer zu erzeugen, um das gewünschte Muster zu erzeugen. ORBIS 3000 verwendet auch zwei Interlocks für die Prozesssteuerung und einen Muster-Matching-Algorithmus für die Off-Axis-Ausrichtung. Der Ätzprozess besteht aus einer Reihe von Schritten: Gaszufuhr, HF-Leistungsanwendung, Gasätzen/-aschen, Kammer-/Substratreinigung und Monitorergebnis. Diese Sequenz wird von einem Echtzeit-Prozessregler überwacht, der HF-Leistung und Gasfluss in Abhängigkeit von Schwankungen der Substrattemperatur, des Kammerdrucks und der Zusammensetzung des Plasmas einstellt. MEMSSTAR ORBIS 3000 hat speziell eine Kammer mit 9 "Durchmesser, 8" Bronze-Turbopumpe und eine 8 "Öl-Diffusionspumpe mit einer Vakuum-Lecksuchmaschine. Das Werkzeug kann bis zu 6500mTorr arbeiten. Die oberen und unteren Elektroden haben beide einen elektrischen Antrieb mit ± 5 Drehgrad und einem Z-Achshub von 25mm. Insgesamt ist ORBIS 3000 ein fortschrittliches Etcher/Asher-Asset mit einer Reihe von Funktionen zur Optimierung von Ätzprozessen. Dieses Modell bietet überlegene Prozessflexibilität und Wiederholbarkeit im Vergleich zu herkömmlichen Trockenätztechniken und ist in der Lage, stabile, hochpräzise Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen zu liefern.