Gebraucht MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC UV-600 #9386602 zu verkaufen

ID: 9386602
UV-Ozone cleaning system.
MODULARE PROZESSTECHNOLOGIE/MPTC UV-600 ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um anspruchsvolle Prozessanforderungen für die Herstellung moderner MEMS, Silizium und III-V-Geräte zu erfüllen. Dieser Ätzer/Ascher wurde mit einem modularen Ansatz entwickelt, der eine einfache Anpassung und Integration in die spezifischen Anforderungen einer bestimmten Anwendung ermöglicht. MPTC UV-600 ist in der Lage, bis auf eine minimale Linienbreite von 70nm extrem präzise zu ätzen und zu veraschen. Der modulare Aufbau der MODULAREN PROZESSTECHNIK UV-600 ermöglicht eine anpassbare Flexibilität bei vielen Ätzanwendungen. Es verfügt über eine Prozesskammer, die eine Vielzahl von Wafergrößen bis zu 6 Zoll aufnehmen kann, und anpassbare Prozessrezepte können mit bis zu 108 Rezeptschritten gespeichert und zurückgerufen werden. Es ist auch mit modernsten Sicherheits- und Diagnosefunktionen ausgestattet. UV-600 verfügt über die patentierte Molecular Cascade Source (MCS) Technologie von MPTC. Diese Technologie bietet dem Ätzer/Ascher eine innovative, Plasmaquelle, die extrem stabil und stark wiederholbar ist. Die MCS-Technologie verwendet kostengünstige Verbrauchsmaterialien, ist wartungsfrei und bietet eine 10x Reduzierung des Verbrauchs von seltenen Gasen. Die Vorteile der MCS-Technologie führen zu Kostenreduzierung und verbesserter Prozessfähigkeit. MODULARE PROZESSTECHNIK/MPTC UV-600 verfügt auch über eine beeindruckende Ätz-/Aschefähigkeit unter Verwendung von 20 verschiedenen Ätzgasarten. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz- und Ascheregimes durchzuführen, einschließlich sauerstoffbasierter Arten, C4F6, Ar, SF6 und NF3. Der Ätzvorgang kann für jede Anwendung optimiert werden, indem die Prozessparameter wie Gasdurchfluss, Leistung, Ätzzeit usw. eingestellt werden. Einzigartige Ätzkammerdesigns sind auf Nischenmärkten wie Deep Reactive Ion Etching (DRIE) und sehr wiederholbarer Verarbeitung erhältlich. MPTC UV-600 verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die sowohl erfahrenen Ingenieuren als auch Anfängern Komfort bietet. Es verfügt über ein Echtzeit-Temperatur- und Drucküberwachungssystem, das in einem integrierten LCD-Display angezeigt wird. Die Maschine ist auch mit ausfallsicheren Systemen ausgestattet, die helfen, Sicherheit und längere Lebensdauer der Ausrüstung zu gewährleisten. Zusammengefasst handelt es sich bei MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600 um einen Ätzer/Ascher, der hochpräzise, wiederholbare und anpassbare Ätz- und Aschefunktionen bietet. Es ist mit einer breiten Palette von Ätzgasarten, einem modularen Design, das eine einfache Anpassung ermöglicht, und einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, die Fachleuten und Anfängern gleichermaßen Sicherheit bietet. Seine patentierte MCS-Technologie, kombiniert mit seinem Echtzeit-Temperatur- und Drucküberwachungssystem, macht es zu einer enormen Ressource für zuverlässiges und kosteneffizientes Ätzen und Veraschen einer Vielzahl von Materialien.
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