Gebraucht MODUTEK SPS 620 #9176760 zu verkaufen

MODUTEK SPS 620
Hersteller
MODUTEK
Modell
SPS 620
ID: 9176760
Wafergröße: 6"-8"
Rotary wafer etching, 6"-8".
MODUTEK SPS 620 ist ein Ätzer/Ascher, der eine hohe Präzisionsleistung und Zuverlässigkeit liefert und somit die ideale Ausrüstung für verschiedene Ätz- und Ascheanwendungen ist. Dieser hochentwickelte Ätzer/Ascher verfügt über einen 19-Zoll-Touchscreen, mit dem Benutzer problemlos auf seine leistungsstarke und dennoch benutzerfreundliche Software zugreifen können. Das System verfügt auch über eine fortschrittliche Vactronic Control Unit, die Anwendern die genaueste verfügbare Kammertemperaturregelung bietet. SPS 620 verfügt über eine Doppelkammer-Konstruktion, die es Anwendern ermöglicht, sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse durchzuführen, ohne die Probe von einer Kammer in die andere verschieben zu müssen. Diese Maschine ermöglicht auch den gleichzeitigen Betrieb von Ätzen und Aschen, wodurch keine manuelle Bedienung erforderlich ist. Das interne Wafer-Tragewerkzeug ermöglicht eine präzise Wafer-Positionierung mit einer Positionsgenauigkeit von ± 2,5 μ m. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine 10 x 10-Kammer, die bis zu 8-Zoll-Wafer handhaben kann und Substrate bis zu 10 μ m dick ätzen kann. MODUTEK SPS 620 ist mit einer industrietauglichen Hardware und Komponenten konzipiert, was es zu einem der zuverlässigsten und langlebigsten Ätz- und Aschesysteme macht. Sein robustes Design ermöglicht eine maximale Prozesstemperatur von bis zu 500 ° C, während die patentierte, doppelwandige Ätzkammerdesign hilft, einen ausgezeichneten Wärmeschutz und eine präzise Temperaturregelung zu bieten. Darüber hinaus verfügt diese Anlage über ein vollautomatisches Wafer-Handling-Modell sowie einen internen E-Beam-Verdampfer und eine integrierte Gasmischanlage zum präzisen Ätzen und Aschen. Die SPS 620 wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit mit einem Not-Aus-Knopf sowie mit Übertemperatur- und Überdruckschutz entwickelt. Darüber hinaus ist das offene Architekturdesign mit RS 232/485, Ethernet- und USB-Kommunikationsports einfach in bestehende Laborsysteme integriert. MODUTEK SPS 620 kombiniert fortschrittliche Funktionen, präzise Leistung und zuverlässige Qualität und ist wirklich eine ausgezeichnete Wahl für alle Ätz- oder Ascheanwendungen.
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