Gebraucht MORY V-1500X #9132178 zu verkaufen

MORY V-1500X ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für die Hochleistungs-Halbleiterherstellung. Dieses Gerät verwendet ein „Kaltätzen“ -Verfahren, um eine höhere Präzision und Genauigkeit beim Ätzen/Aschen von Substraten wie Wafern, Chips, Interposern und mehr zu erreichen. Dieser Ätzer verfügt über eine mehrstufige, hochauflösende Vakuumkammer, die eine optimale Leistung während des Aschvorgangs gewährleistet. Diese Kammer behält mit ihrer aktiven Feuchtigkeitskontrolle eine stabile Umgebung bei, um mögliche Verunreinigungen zu beseitigen. Die Quelle der Ätz-/Aschechemikalien wird durch einen in einem Schutzgehäuse eingeschlossenen Plasmabrenner bereitgestellt. Der Brenner erzeugt eine Plasmakolbe, die über eine mit einer fächerförmigen Duschplatte integrierte Gasdüse der Substratscheibe zugeführt wird. Diese Brauseplatte hilft, die Raupe gleichmäßig über die gesamte Oberfläche des Wafers zu verteilen. Dieser Prozess wird durch eine breite Palette von anpassbaren Parametern ermöglicht, einschließlich Druck, Gasfluss, Impulslänge, Halbleiterenergie und Waferdrehzahl. Der Ätzer ist mit einer hochauflösenden, hochgenauen optischen Bildgebungsausrüstung ausgestattet. Dieses System erleichtert die Überwachung des Ätz-/Ascheprozesses in Echtzeit, was eine höhere Präzision und Kontrolle ermöglicht. Es wird auch verwendet, um die Oberfläche des Substrats zu überprüfen, um seine Gleichmäßigkeit und Genauigkeit vor dem Aschevorgang zu gewährleisten. Im Hinblick auf die Sicherheit wurde V-1500X so konzipiert, dass es strengen Industriestandards entspricht. Seine Wafer-Überwachungseinheit ist mit einer dreifach redundanten Einheit ausgestattet, die genaue Hinweise auf etwaige Gefahren oder Ereignisse beim Ätzen/Aschen liefert. Das Gerät hat auch eine automatische Failover-Funktion, die es erlaubt, den Prozess im Falle eines Problems sicher zu stoppen. Schließlich verfügt MORY V-1500X über eine einfache Benutzeroberfläche, die eine einfache Anpassung der Parameter und eine schnelle Fehlerbehebung ermöglicht. Dieser Ätzer/Ascher verfügt außerdem über mehrere zusätzliche Funktionen, wie intelligente Kühlmaschine, Fernüberwachung und ein integriertes Leistungswerkzeug, das eine noch bessere Prozesssteuerung und -überwachung ermöglicht.