Gebraucht MTJ P291 / P334 #9285840 zu verkaufen

MTJ P291/ P334 ist eine Hochleistungs-Ätz- und Aschemaschine, die eine extrem präzise mikroelektronische Ätzung, Asche und Mikrobearbeitung auf Substraten bis 10 "(25 cm) Durchmesser ermöglicht. Es ist eine kompakte, in sich geschlossene Ausrüstung, die einfach zu bedienen ist und ideal für Universitäten, Labore sowie Halbleiter- und Elektronikfertigungsprozesse ist. P291/ P334 ist ein dediziertes Ätz- und Aschesystem, das so flach wie 1 µm ätzen und aschen kann. Die Maschine verwendet eine Mikron-Präzisionsätz-/Ascheübertragungseinheit mit einer automatisierten Lastschloßmaschine, die die Produktivität optimiert und ein gleichbleibendes qualitativ hochwertiges Ätzen und Aschen gewährleistet. Die Maschine verfügt über fortschrittliche Prozesssteuerungssysteme, die verschiedene chemische Prozesse und Substratmaterialien verarbeiten können, so dass der Benutzer die optimalen Ätzparameter für jeden Prozess auswählen kann. Dazu gehört auch die Möglichkeit, Rezepteinstellungen für Postprozess-Messtechnik und andere Prozessfunktionen zu programmieren. MTJ P291/ P334 ist konfigurierbar, um eine Vielzahl von Ätzchemikalien zu betreiben - einschließlich KOH, TMAH, MUF und SF6, und verfügt auch über einen integrierten Gasschrank, der sowohl Ar/O2 als auch XeF2 Ströme ermöglicht. Weitere Merkmale von P291/ P334 sind ein verstellbarer Lader und ein fortschrittliches Bewegungswerkzeug für eine schnellere und genauere Platzierung und Translation von Substraten. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine integrierte Vakuumanlage, die einen höheren Durchsatz und eine verbesserte Handhabung von Substraten ermöglicht. Das Modell verfügt auch über zwei seitliche Kühlkompressoren, zwei integrierte Temperaturregler und einen mehrkanaligen Signalprozessor mit automatisierter Parameterabstimmung für die beste Ätzleistung. Schließlich ist MTJ P291/ P334 mit einem patentierten unabhängigen Türmechanismus ausgestattet, der eine Wärmedämmung beim Öffnen der Tür ermöglicht. Die isolierte Tür verhindert Kreuzkontaminationen und thermische Schockprobleme beim Ätzen und Aschen. Darüber hinaus verfügt das Gerät auch über fortschrittliche Sicherheitsfunktionen wie Drucksensoren, Notabschaltung und eine intuitive Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) für einfache Bedienung und Überwachung.