Gebraucht NANOPLAS DSB 6000 #293747090 zu verkaufen
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NANOPLAS DSB 6000 ist ein Ätzer/Ascher, der für präzise, empfindliche 1-seitige Feinmusterprozesse in der Halbleiter-, MEM- und LED-Industrie entwickelt wurde. Entwickelt für Präzision, hat das Gerät eine hohe dynamische Genauigkeit von 0,25 um Linienbreite und 5 nm Wiederholgröße. Es ist mit einer patentierten optischen DC-Ausrüstung ausgestattet, die von NANOPLAS mit einer präzisen Positionierung des Wellenformmessers und der Stützbasis entwickelt wurde. Das robuste, wartungsfreie System verfügt über eine 6 „x6“ feste, nicht drehbare Arbeitssubstratplattform, die bis zu 200mm x 100mm aktive Prozessfläche bietet und es ermöglicht, großstufige Substrate zu verarbeiten. Es ist in der Lage, verschiedene Materialien wie Silizium, Quarz, Halbleiterlegierungen und Saphir zu ätzen. DSB 6000 ist auf Prozessflexibilität und Robustheit ausgelegt. Es verfügt über einen Fiber-Coupled Direct-Diode Laser (Diodenlaser-Array) mit einem 3-Schicht-Oberheizer mit einer 50um kontinuierlichen Temperatur-Homogenisierungsschicht und 500 nm Tiefe der oberen beheizten Flächenschicht darunter. Der Ätzer/Ascher hat auch eine x-y-z Motorstufe, erweitertes Auto-Stapeln, 4-Masken-Ausrichteinheit, Auto/manuelle Bewegungssteuerung und Autofokus-Steuerung für einfache Bedienung. Das Gerät ist mit einem Pulsabscheidungslaser mit einer 40kHz maximalen Wiederholrate, einstellbarer Impulsenergie und Geschwindigkeit pro vorstrukturiertem Profil und kundenspezifischer Filmtemperaturregelmaschine ausgestattet. Das benutzerfreundliche Design verfügt über einen ergonomischen Griff, der eine einfache Bedienung ermöglicht, das LCD-Display bietet Echtzeitinformationen und NANOPLAS DSB 6000 hat leistungsstarke Diagnose- und Diagnosesteuerungsalgorithmen eingebettet, wodurch das Tool einfach zu bedienen und zu warten ist. Um das Gerät noch einfacher zu machen, enthält das Gerät ein Computersoftware-Paket für einfache Einrichtung und Bedienung, ein automatisches Substrat-Lademodell, um einen schnellen Umsatz des Aschers zu ermöglichen, eine SPS (programmierbare Logik-Steuerung) für einfache Programmierung und eine intuitive Mensch-Maschine-Schnittstelle. DSB 6000 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, ideal für den Einsatz in Produktionsumgebungen mit präzisen 1-seitigen Feinmusterverfahren. Es ist ein zuverlässiges und genaues Gerät, einfach zu bedienen und zu bedienen, und wird sicherstellen, dass empfindliche Musterprozesse mit Präzision durchgeführt werden.
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