Gebraucht NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330 #293660507 zu verkaufen
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NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine für Präzisionsätz- und Ascheanwendungen. Das System besteht aus zwei Teilen, Aufzug und Platte mit motorisiertem Antrieb. Der Aufzug hebt die Wafer an den oberen Teil der Einheit, der mit 10 mm/s fährt, und die Platte wird von einem hochpräzisen motorisierten Antrieb mit einer Auflösung von 0,2 angetrieben. Der gesamte Maschinenplatz beträgt nur 420 x 400 mm und ist damit ideal für die Hochmisch- und Niederserienproduktion. NAURA ELEDE 330 verfügt über eine benutzerfreundliche, grafische Touchscreen-Oberfläche, die eine effiziente Programmierung und Prozessüberwachung für komplexe Prozesse ermöglicht. Das Werkzeug ist in der Lage, mehrere Gasrezepte zu unterstützen, so dass Benutzer leicht zwischen Ätz- und Ascheprozessen sowie verschiedenen Gasmischungen von einer einzigen Maschinensteuerung wechseln können. Die Netzwerkverbindungsfunktion ermöglicht die Integration in Systeme von Drittanbietern, die eine nahtlose Verbindung ermöglichen und Feedback-Daten verarbeiten. AKRION ELEDE 330 verfügt auch über eine Ion Source Assembly (ISA), die überlegene Ätz- und Ascheleistung für alle Arten von Substraten bietet. Die inerte Metallkammer ist so konzipiert, dass Lichtbogen und Plasmaleckage minimiert werden, was ein gleichmäßiges Ätzen jedes Materials ermöglicht. Die Plasmaquelle kann mittels Frequenz- und Spannungseinstellung zur Modifizierung der Elektronen- und Teilchenkonfiguration zur Feinabstimmung des Ätzprozesses weiter abgestimmt und optimiert werden. Darüber hinaus verfügt ELEDE 330 über eine in sich geschlossene Gasförderanlage mit integrierten Massenstromreglern, die eine präzise Prozesssteuerung beim Ätzen und Aschen ermöglicht. Das Modell umfasst auch Quellenenergie-Monitore und digitale HF-Kapazitätssteuerung, die extrem stabile Ätzbedingungen gewährleisten. NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330 wird von NAURA ausgezeichneten After-Sales-Support-Services und Garantieangeboten unterstützt und bietet somit eine zuverlässige und robuste Lösung für anspruchsvolle Ätz- und Ascheanwendungen.
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