Gebraucht NEMST 2002 #9244938 zu verkaufen

NEMST 2002
Hersteller
NEMST
Modell
2002
ID: 9244938
Weinlese: 2008
Plasma cleaners 2008 vintage.
NEMST 2002 ist ein Ätz-/Aschemaschinenätzwerkzeug, das zur Herstellung komplexer Halbleiterstrukturen und -bauelemente entwickelt wurde. Es funktioniert, indem es ein elektromagnetisches Feld verwendet, um ein hochenergetisches Plasma zu erzeugen. Dieses Feld wird durch eine 500 kHz, 40 mT Hochfrequenz (RF) Stromquelle erzeugt, die ein gleichmäßiges elektrisches Feld um die Probe erzeugt. 2002 besteht aus einer Edelstahlkammer, einer die Kammer umgebenden HF-Spule, einem Vakuumsystem mit einer einzigen Gaszufuhr und einer zu ätzenden Probe oder einem zu ätzenden Substrat. Die Edelstahlkammer ist zylindrisch geformt, mit einem Innenradius von 85 cm und einer Höhe von 30 cm. Die HF-Spule erzeugt das elektrische Feld, während das Vakuumsystem den Druck in der Kammer auf einem sicheren Niveau hält. Die Gaszufuhr liefert je nach Art der anzuwendenden Ätzung unterschiedliche Gase. Der Ätzvorgang beginnt, wenn ein Niederdruck (5-7 mbar) an die Kammer angelegt wird und die HF-Spule eingeschaltet wird, wodurch ein gleichmäßiges elektrisches Feld entsteht. Durch dieses Feld beschleunigen sich die geladenen Partikel innerhalb der Kammer zur Probe hin, geben Energie frei und stellen den Ätzvorgang ein. Die Ätzrate ist variabel im Bereich von 10 bis 100 nm/min. Die zum Ätzen verwendeten Gasarten sowie die Ätzbedingungen sind anpassbar und können zur präzisen Ätzung in NEMST 2002 programmiert werden. Außerdem kann 2002 zur selektiven Ätzung verwendet werden, wobei bestimmte Bereiche der Probe mit unterschiedlichen Raten geätzt werden. NEMST 2002 ist in der Lage, bis zu 2900 Rezepte zum Ätzen zu speichern und kann einfach programmiert werden. 2002 ist auch mit Sicherheitsmerkmalen wie einem Warnsystem ausgestattet, um den Bediener zu benachrichtigen, wenn der Druck, die Temperatur oder das Hochfrequenzgetriebe nicht innerhalb der Sicherheitsgrenzen liegen. Abschließend ist NEMST 2002 ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher, der für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterstrukturen und -bauelemente entwickelt wurde. Seine HF-Spule erzeugt ein gleichmäßiges elektrisches Feld, das eine aufwendige Bearbeitung von Proben innerhalb der Kammer ermöglicht. Darüber hinaus ist 2002 benutzerfreundlich und eignet sich daher gut für Bildungs- und Industrieanwendungen.
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