Gebraucht NEXSO NSC7000 #9153448 zu verkaufen
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ID: 9153448
PECVD Systems
Electric power: 208VAC/100A
Air: 75±5 Psig 3/8"
PCWS/PCWR: 4 l/m (Max Flow), 4Kg/cm2, 3/8"
Exhaust: 60 CFM
Cassette chamber: Sensor
Loadlock chamber: Robot (Brooks PRI-MTR5)
Process chamber: RF power TC heater (6061T6 Aluminum) shower head
Vacuum line: Dry pump gate valve throttle valve B
Gas line: MFC Air valve gas monitor gas cabinet gas bombe filter.
NEXSO NSC7000 ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheprozessausrüstung für eine Vielzahl von Elektronikanwendungen. Es ermöglicht die präzise Anwendung von Chemikalien, um Ätz- oder Ascheprozesse auf Oberflächen mit höchster Präzision durchzuführen. Das System ist vollautomatisiert und verfügt über eine fortschrittliche in-situ Widerstandsmessung sowie eine automatisierte Steuerung der Prozessparameter. Die Ätz- und Ashing-Parameter können intern über eine Weboberfläche programmiert werden, sodass Benutzer ihre eigenen Einstellungen optimal an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Das Gerät verfügt außerdem über eine vollständige Maschinenüberwachung, die eine Fernüberwachung der gesamten Werkzeugparameter und -aktivitäten ermöglicht. NSC7000 kann für alle Arten von Ätz- und Ascheprozessen verwendet werden, einschließlich Fotoätzen, Laser-Mustern und Deep Reactive Ion Etching (DRIE). Die Anlage ermöglicht den Einsatz verschiedener Chemikalien auf verschiedenen Substraten wie Wafern, Silizium und Gallium. NEXSO NSC7000 umfasst mehrere Schlüsselkomponenten, darunter einen plattierbaren Tank, Elektrolyt zur chemischen Abscheidung und eine Vakuum/Gegendruckkammer zum Ätzen und Aschen. NSC7000 bietet Anwendern die Flexibilität, unterschiedliche Ätz- und Ascheprozesse für ein breites Spektrum von Elektronikanwendungen zu nutzen. Dazu gehören das Ätzen von Halbleitern, Leiterplatten, Dickschichtschaltungen und Magnetspulen sowie das Aschen von Lithographieresistenzen, Aluminiumoxid, Glas und anderen oxidationsbeständigen Materialien. Das Modell weist mehrere Prozessgase auf, darunter Chlorwasserstoff, Chlortrifluorid und fluorierte Kohlenwasserstoffe. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um höchste Sicherheit und Zuverlässigkeit bei Ätz-, Asche- und chemischen Applikationsprozessen zu gewährleisten. Es verfügt über einen chemisch inerten Titantank, der einen chemischen Abbau verhindert, und ein Temperaturüberwachungssystem, das sicherstellt, dass Prozessparameter bei sicheren Betriebstemperaturen bleiben. NEXSO NSC7000 ist eine fortschrittliche Prozesseinheit, die den sicheren und zuverlässigen Einsatz von Chemikalien für die Ätz- und Ascheprozesse verschiedener Substrate und Materialien ermöglicht. Mit ihrer flexiblen und benutzerfreundlichen programmierbaren Oberfläche stellt die Maschine den Anwendern die notwendigen Werkzeuge zur Verfügung, um ihre gewünschten Ergebnisse sicher und präzise zu erzielen.
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