Gebraucht NEXSO NV10 #9130696 zu verkaufen
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ID: 9130696
Wafergröße: 5"
Weinlese: 2002
High current ion implanter, 5"
Main power supply (all UPS power supply) = 208V3 phase 5-wire 135A
Grounding 1 ohm, electric power 45KVA
Cooling water inlet
Cooling water outlet
N2 Gas
CDA
Argon special gas
Boron specialty gas
General exhaust
Toxic exhaust
General vent
2002 vintage.
NEXSO NV10 ist ein Ätzer/Ascher, ein Gerät, das die Funktionen eines Ätzers und einer Asche in einer Maschine kombiniert. Es ist für die Herstellung von Mikrominiaturkomponenten wie mikroelektronischen integrierten Schaltungen (ICs) konzipiert. NV10 ist eine automatisierte Nassätz- und Aschevorrichtung für einseitige und doppelseitige mittels Ätz- und Prozessanalyse, die als eigenständiges System oder integriert in eine PVD-Einheit zur Verfügung steht. Es besteht aus drei Hauptkomponenten: Ätzer/Asche, Tablett und Komponenten Rack. Die Maschine ist in der Lage, verschiedene Substrate mit einer Geschwindigkeit von bis zu 100 mm/Minute zu ätzen und zu aschen. NEXSO NV10 wurde entwickelt, um eine präzise Prozesssteuerung mit einer maximalen Ätztiefe von 1 µm und einer Mindestätzzeit von 5 Minuten zu gewährleisten. Es verfügt auch über ein dynamisches Aschwerkzeug, das sowohl programmiertes als auch manuelles Aschen ermöglicht. Thermische, chemische und optische Sensoren sorgen für ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen aller Komponenten. Die Maschine ist mit einem Windows-basierten Betriebsmittel ausgestattet, mit dem Bediener mehrere Ätzrezepte programmieren und Prozessparameter anpassen können, während die Echtzeit-Prozessdaten überwacht werden. Es ist auch mit einem verbesserten Vakuum-Isolationsmechanismus ausgestattet, der hilft, den Wärmeverlust zu reduzieren. NV10 ist ein kompakter und vielseitiger Ätzer/Ascher, der sowohl für ein- als auch zweischichtiges Ätzen verwendet werden kann. Zusätzlich ist es mit einer Ethernet-Verbindung versehen, um die Integration mit anderen Prozesswerkzeugen und die Möglichkeit zu ermöglichen, eine Vielzahl von Ätzrezepten zu programmieren. Insgesamt ist NEXSO NV10 ein leistungsstarker und effizienter Ätzer/Ascher, der äußerst genau ist und zur konsequenten Herstellung hochwertiger IC-Prototypen und -Komponenten verwendet werden kann. Die Kombination aus automatisierten Prozessen und präziser Steuerung macht es ideal für den Einsatz in der Herstellung von Halbleitern und anderen mikroelektronischen Bauelementen. Seine Fähigkeit, sich mit anderen Werkzeugen zu integrieren und detaillierte Prozessdaten bereitzustellen, macht es noch attraktiver für kommerzielle und industrielle Anwendungen.
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