Gebraucht NEXTRAL NE 100 #293828894 zu verkaufen
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ID: 293828894
Etcher
Mask: Resist, SiO2, Si3N4, Metal
Wafer Holder, 4"
HF Generator: 300 W at 1356 MHz
Gas Lines: SF6, CHF3, O2
Temperature range: 5°C to 40°C
End point detector: Laser interferometry (670 nm).
NEXTRAL NE 100 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse. Dieses hochentwickelte Werkzeug verwendet eine Kombination aus Plasma- und chemischen Prozessen, um Kontaminationen, Rückstände und Oxide von der Oberfläche von Substraten wie Wafern effektiv zu entfernen, um eine optimale Geräteleistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. NE 100 wurde mit modernster Technologie entwickelt, um präzise und einheitliche Ätz-/Ascheergebnisse zu erzielen, was es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Halbleiterherstellung macht, die hochleistungsfähige und konsistente Verarbeitungsfunktionen erfordert. NEXTRAL NE 100 verfügt über ein vielseitiges Kammerdesign, das eine breite Palette von Wafergrößen aufnimmt, von kleinen Forschungs- und Entwicklungsproben bis hin zu kompletten Produktionswafern. Das System ist mit mehreren Gaseinspritzöffnungen und einer ausgeklügelten Gasfördereinheit ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Prozesschemie, der Temperatur und des Drucks innerhalb der Kammer ermöglicht. So können Anwender die Ätz-/Ascheprozessparameter so anpassen, dass die gewünschten Ergebnisse für bestimmte Anwendungen erzielt werden, wodurch maximale Prozessflexibilität und Wiederholbarkeit gewährleistet sind. Eines der wichtigsten Highlights von NE 100 ist seine fortschrittliche Plasmaerzeugungsmaschine, die eine Hochfrequenz-Hochfrequenz-Stromquelle verwendet, um eine hochreaktive Plasmaentladung innerhalb der Kammer zu erzeugen. Dieses Plasma zerlegt effektiv die chemischen Bindungen von Verunreinigungen und Rückständen auf der Waferoberfläche und erleichtert deren Entfernung durch eine Kombination aus physikalischem Sputtern und chemischen Reaktionsmechanismen. Die Plasmaquelle des Werkzeugs ist für hohe Stabilität und Effizienz konzipiert und gewährleistet eine gleichmäßige Plasmadichte und Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche, was zu präzisen Ätz-/Ascheergebnissen bei minimaler Variation führt. Neben seiner robusten Plasmaerzeugung verfügt NEXTRAL NE 100 über eine hochmoderne Gasstromsteuerung, die die präzise Einführung und Vermischung mehrerer Prozessgase in der Kammer ermöglicht. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, maßgeschneiderte Prozesschemien zu erstellen, die auf bestimmte Anwendungen zugeschnitten sind, was zu erhöhter Prozessflexibilität und Kontrolle führt. Die Gasdurchflussregeleinrichtung des Modells sorgt zudem für eine effiziente Gasausnutzung und -verteilung, minimiert den Gasverbrauch und maximiert die Prozesseffizienz. NE 100 ist mit fortschrittlichen Temperaturregel- und Überwachungssystemen ausgestattet, die die Wafertemperatur während des Ätz-/Ascheprozesses regulieren. Diese genaue Temperaturregelung ist für die Erzielung konsistenter und gleichmäßiger Verarbeitungsergebnisse unerlässlich, da Temperaturschwankungen die Ätzrate, Selektivität und Gleichmäßigkeit des Prozesses beeinflussen können. Die Temperaturregeleinheit des Systems ist so konzipiert, dass sie eine stabile und gleichmäßige Wafertemperatur während des gesamten Prozesses aufrechterhält und eine optimale Prozessleistung und Reproduzierbarkeit gewährleistet. Darüber hinaus verfügt NEXTRAL NE 100 über eine benutzerfreundliche Oberfläche und eine intuitive Software-Steuerung, die Bedienungs- und Überwachungsaufgaben für die Endbenutzer optimiert. Die Software des Tools ermöglicht die einfache Programmierung von Prozessrezepten, die Echtzeit-Überwachung wichtiger Prozessparameter und die Datenprotokollierung zur Prozessoptimierung und Qualitätskontrolle. Darüber hinaus ist die Anlage mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen und Diagnosetools ausgestattet, um einen zuverlässigen und sicheren Betrieb in Halbleiterherstellungsumgebungen zu gewährleisten. Schließlich NE 100 ist ein innovatives etcher/asher Modell, das fortgeschrittene Fähigkeiten für Präzisionshalbleiterfertigungsverfahren anbietet. Mit seiner hochmodernen Plasmaerzeugung, Gasflussregelung, Temperaturregelung und benutzerfreundlichen Schnittstelle bietet NEXTRAL NE 100 Halbleiterfertigungsanlagen eine zuverlässige und leistungsstarke Lösung für Ätz- und Ascheanwendungen.
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