Gebraucht NORDSON MARCH AP-1000 #293616503 zu verkaufen

Die NORDON MARCH NORDSON MARCH AP-1000 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für hohen Durchsatz und hohe Auflösung auf einer Vielzahl von Substraten wie GaAs, InP, Si sowie anderen III-V-Materialien entwickelt wurde. Dieses System verwendet ein Niederdruck-reaktives Ionenätzverfahren, um ein extrem präzises Ätzen von feiner Linie und über Schichten zu ermöglichen. NORDSON MARCH AP 1000 nutzt mehrere Technologien, einschließlich Elektronenzyklotronresonanzätzen, Gleichstromätzen und hoher Vorspannung, um überlegene Ätzraten, ausgezeichnete Ätzgenauigkeit und Kontrolle der Ätzform zu liefern. AP-1000 Architektur umfasst einen Dualfrequenzgenerator, der zwei simultane Ätzprozesse ermöglicht, einschließlich Plasmaätzen mittlerer Dichte und Ätzen mit großem Seitenverhältnis. Eine fortschrittliche Wafermotorbaugruppe bietet ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit für die Produktion. Das Gerät ist mit einem Lastschloß ausgestattet, das eine sichere Probenbeladung sowie eine entfernte Plasmaquelle zur Reinigung der Kammer ermöglicht. Die proprietäre Steuerungssoftware von AP 1000 ermöglicht maßgeschneiderte Ätzparameter für optimale Ergebnisse. Diese Software-Schnittstelle ermöglicht es Benutzern, Ätzrezeptparameter wie Mikrowellenfrequenz, Vorspannung und Prozessdruck zu programmieren, um eine optimale Leistung zu erzielen. Darüber hinaus ist die Maschine mit fortschrittlichen Endpunktdetektionsmethoden ausgestattet, einschließlich Flugzeit-Massenspektrometrie und optische Emissionsspektroskopie, sowie anderen fortschrittlichen Werkzeugen, um die Prozesstragfähigkeit zu gewährleisten. Dieses vielseitige Tool bietet eine hervorragende Leistung für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen. Geätzte Merkmale können Seitenverhältnisse bis 30:1 und Filmdicken bis 100 nm aufweisen. Die Präzision und Genauigkeit der Ätzergebnisse gehört zu den höchsten auf dem Markt verfügbaren und liefert Kunden außergewöhnliche Ergebnisse in einer Vielzahl von Gerätegrößen und Geometrien. Die hohen Durchsatzleistungen von NORDSON MARCH AP-1000 es zudem zu einer idealen Wahl für die Serienproduktion machen.