Gebraucht NORDSON MARCH AP-1000 #293753808 zu verkaufen

Die Normson March NORDSON MARCH AP-1000 ist ein Ätz- und Aschesystem zur Herstellung von hochreinen Halbleiterbauelementen und Industrieprodukten. Das System besteht aus zwei miteinander verbundenen Kammern; eine Plasmaätzkammer und eine schnelle thermische Aschkammer. Die Plasmaätzkammer erzeugt mit einem hochenergetischen Elektronenstrahl eine gleichmäßige thermische Plasmaumgebung für den Ätzprozess. Dieses leistungsstarke Ionenflussmittel hilft beim schnellen und präzisen Entfernen von Oxidschichten und anderen Verunreinigungen auf dem Prozesssubstrat und minimiert gleichzeitig Ionenschäden und kollaterale Oberflächenschäden. Diese Kammer hat eine Vakuumleistung von 2 mbar und wird von einem 48V DC-Netzteil gespeist. Die zweite Kammer, die schnelle thermische Aschkammer, ist ein Hochtemperaturofen, der das Substrat unter Verwendung eines Propan-Luft-Gemisches schnell erwärmt und eine schnelle und effiziente thermische Zersetzung von schichtorganischen Verunreinigungen ermöglicht, die nach der Plasmabehandlung verbleiben. Die Temperatur ist von 25C bis 1400C einstellbar und die Kammer kann Temperaturen über 2000 ° C erreichen. Zusätzlich ermöglicht diese Kammer Sauerstoff- und Stickstoffatmosphäre-Asche sowie Argon-Asche zur flüchtigen Rückstandsentfernung. Darüber hinaus verfügt die Normson March NORDSON MARCH AP 1000 über von außen öffenbare Seitenkammern, die Benutzern direkten Zugriff auf die Substratkassette für einen höheren Durchsatz ermöglichen; ermöglicht einen schnellen und einfachen Austausch von Substraten. Dedizierte Transferports ermöglichen externen Werkzeugzugriff. All diese Merkmale schaffen eine ideale Umgebung für Hochleistungs-Ätz- und Ascheprozesse, die in der industriellen und Halbleiterproduktion eingesetzt werden, und bieten gleichzeitig ein sicheres und effizientes Benutzererlebnis. Die Normson March AP-1000 macht die Herstellung von Premium-Produkten einfach und bequem.