Gebraucht NORDSON MARCH AP-1000 #293771112 zu verkaufen

ID: 293771112
Weinlese: 2009
Plasma cleaner 2009 vintage.
NORDSON MARCH AP-1000 Plasma Asher ist eine Plasmatech™ Ätzausrüstung von NORDSON MARCH und für die Produktion unterschiedlichster Substratmaterialien mit hohem Durchsatz konzipiert. NORDSON MARCH AP 1000 ist ein Einkammer-System auf Basis einer einzigartigen plasmareduzierten Druckkammer (PRP), die sowohl mit Elektronenzyklotronresonanz (ECR) als auch mit induktiv gekoppelten Plasmaquellen (ICP) ausgestattet ist. AP-1000 ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien mit der höchstmöglichen Wiederholbarkeit und ultimativen Präzision zu ätzen. Das Gerät ist voll ausgestattet mit einer Vielzahl von hochentwickelten Technologien, so dass es Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 12 "(304,8 mm) mit einem maximalen Seitenverhältnis von 10:1 verarbeiten kann. AP 1000 ist in der Lage, eine extrem gleichmäßige Ätztiefe und Merkmalsgröße von ca. 1µm zu erzeugen. Die Maschine verfügt auch über eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, darunter ein Auto-Tuning-Tool, eine variable Kammer Temperatur Steuerung Asset, und einen Computer navigiert über eine Windows-basierte GUI. Darüber hinaus verfügt NORDSON MARCH AP-1000 über eine höhere Abscheidefrequenz, eine steigende Ätzrate und eine verbesserte Ätzgleichmäßigkeit. Dies wird durch die Verwendung der Hochfrequenz-ECR-Quelle ermöglicht, die eine größere Stellfläche aufweist als die meisten anderen Quellen. Darüber hinaus umfasst das Modell auch eine automatisierte Kalibrierung für Ätzrezepte und eine Vielzahl optionaler Zubehörteile wie Probenheizungen und Resistmasken. NORDSON MARCH AP 1000 ist ein äußerst gut konzipiertes und zuverlässiges Gerät, das sich ideal für den Einsatz in Forschungs- und Produktionsumgebungen eignet.
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