Gebraucht NORDSON MARCH AP-1000 #9156324 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9156324
Weinlese: 2012
Plasma cleaning system
PLC Controller with touch screen
Graphical interface
Real time process representation
Part carriers either direct or downstream plasma mode
Automatic impedance RF generator: 13.56 MHz
Proprietary software control system
Production data for statistical process control
Effective footprint:
Clearances:
Right, Left: 153 mm (6 in)
Front: 680 mm (26.8 in)
Back: 483 mm (19 in) Minimum
Chamber:
Dimensions: 457W x 610D x 457H mm (18W x 24D x 18H in)
Volume: (127) Liters (7776 in³)
Variable electrode configurations:
Direct
Downstream
HTP Wide
HTP Narrow
(14) Shelf positions
Shelf pitch:
25.4mm (1 in) for 600W
50.8mm (2 in) for 1000 W
Electrodes:
Powered electrode dimensions :
349W x 425D mm (13.74 W x 16.73D in)
Ground (perf.) electrode dimensions:
384W x 425D mm (15.1W x 16.73D in)
Floating shelf dimensions:
349W x 425D mm (13.74W x 16.73D in)
RF Power:
Standard wattage: 600W
Frequency: 13.56 MHz
Gas control:
(4) MFCs
Remote interface:
Software controls:
Plasma link
Process link
Vacuum pump:
Standard vacuum pump:
50 CFM (50 / 60Hz)
Wet pump with oil mist eliminator
Facilities:
Power supply
220V, 25A, 50/60 Hz, 3 phase, 8AWG, (4) Wires
380V, 25A, 50/60Hz, 3 phase, 8 AWG, (5) Wires
Process gas fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Purge gas fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Pneumatic valves fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Purity:
Industrial grade nitrogen or CDA
Industrial grade or better
Pressure and flow:
Regulated from 0.69bar (10PSI) min. to 1bar (15PSI) max
Regulated from 2bar (30PSI) min. to 5.5bar (80PSI) max
Regulated from 3.4bar (50PSI) min. to 5.5bar (80PSI) max
CDA
Oil free
Dewpoint: <=7°C /45°F
Particulate size: <5 Micron
Exhaust:
OD Pipe flange: 38mm (1.5 in.)
Compliance:
SEMI: S2, S8, E10
International: CE Marked
Ancillary equipment:
Gas generators
Nitrogen
Hydrogen
Facilities modules:
Oil filtration
Chiller
Scrubber
Currently installed
2012 vintage.
Die Nordsom March NORDSON MARCH AP-1000 ist ein Präzisionsätzer/Ascher, der für die Verarbeitung von Hochdurchsatzmaterialien konzipiert ist. NORDSON MARCH AP 1000 verwendet physikalische Dampfabscheidungstechniken (PVD), um Materialien mit hoher Genauigkeit auf die Oberfläche eines Substrats abzuscheiden. Dieses Verfahren eignet sich ideal für die Erstellung von Schaltungsmustern, die Abscheidung von schützenden Metallisierungsschichten und die Bereitstellung einer Reihe anderer Fertigungstechniken. AP-1000 ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu unterstützen, einschließlich Keramik, galvanisierte Basismaterialien, Quarz, Halbleiterscheiben und eine Vielzahl von anderen Materialien. Die AP 1000 verfügt über eine geschlossene Kammer für den Abscheidevorgang und eine optionale Edelstahlentlüftung zur Evakuierung gefährlicher Gase. Die geschlossene Kammer sorgt dafür, dass der Abscheidevorgang abgeschirmt wird, wodurch ein wirksames Mittel zur Steuerung des Prozessdrucks und zur Vermeidung von Verunreinigungen bereitgestellt wird. Die Kammer ist mit einem einstellbaren Druckstromregelventil und einstellbaren Temperatur- und Drucksensoren ausgestattet. NORDSON MARCH AP-1000 ist mit einer Reihe von Werkzeugen zum Ätzen und Aschen ausgestattet, einschließlich Fräsfähigkeit, Drahtzuführungen und einer Widerstandsätzvorrichtung. Die Nordsom March NORDSON MARCH AP 1000 bietet beste Präzisionsätz- und Aschetechnik. Das System ist für automatisierte, wiederholbare und reproduzierbare Hochleistungsabscheidungsprozesse konzipiert und wird durch ein leistungsstarkes, ergonomisches Steuerungssystem optimiert. Die Software ermöglicht eine einfache Programmierung vieler Prozesse mit benutzerfreundlichen Menüs und grafischer Darstellung der Prozessparameter. Die Software verfügt außerdem über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche zum Einrichten komplexer Ablagerungsrezepte. Die Nordsom March AP-1000 ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu unterstützen und kann an die Bedürfnisse spezifischer Anwendungen angepasst werden. Sein geschlossenes Kammerdesign sorgt für einen sicheren und kontrollierten Abscheideprozess und sein einstellbares Druckflussregelventil hilft bei der Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus ist AP 1000 mit einer Reihe von Werkzeugen zur Durchführung von Ätz- und Aschevorgängen ausgestattet, und sein leistungsfähiges und dennoch zugängliches Steuerungssystem macht es auch für Anfänger einfach zu bedienen. Die Nordsom March NORDSON MARCH AP-1000 ist das perfekte Werkzeug für eine präzise Materialbearbeitung.
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