Gebraucht NORDSON MARCH AP-1000 #9196956 zu verkaufen

NORDSON MARCH AP-1000 ist eine Ätzmaschine für eine Vielzahl von Halbleiterätzprozessen. Es verfügt über eine integrierte Vakuumausrüstung und ein Kontrollsystem, mit dem der Benutzer Parameter wie Endpunkterkennung und Substrattemperatur auswählen kann. Der Ätzvorgang findet in einer quarzumhüllten Kammer statt, in der das zu ätzende Substrat auf eine hohe Temperatur erhitzt und reaktiven chemischen Gasen ausgesetzt wird. NORDSON MARCH AP 1000 verfügt über eine hocheffiziente Niederdruckabscheideeinheit, die präzise, einheitliche Ergebnisse liefert. Diese Maschine bietet auch schnelle Kühlung und einheitliche Ätzprofile, so dass es ideal für fortgeschrittene Anwendungen wie Abscheidung, Glühen und reaktives Ionenätzen. Zusätzlich umfasst der Ätzer eine Prozesskammer mit einer Kapazität von bis zu sechs 300 mm Wafern sowie ein Kühlmittel- und Gasdurchflusswerkzeug. AP-1000 enthält auch eine Temperaturregeleinrichtung zur Temperaturregelung des Substrats. Die grafische Benutzeroberfläche auf AP 1000 ist intuitiv und ermöglicht dem Anwender die einfache Steuerung des Ätzprozesses. Die Kammersteuerschnittstelle ermöglicht es Benutzern, Prozessparameter wie Druck, Temperatur, Gasfluss, Bias-Materialzusammensetzung sowie Gaseinspritzrate und -dauer anzupassen. Die ChamberView-Software visualisiert die vordere und untere Planansicht des Substrats während des Ätzvorgangs in Echtzeit. Sicherheitstechnisch verfügt NORDSON MARCH AP-1000 über ein integriertes Luftreinigungsmodell, das dafür sorgt, dass schädliche Gase und Reaktionsprodukte wie Metallhalogenide automatisch aus der Prozesskammer entfernt werden. Der Ätzer verfügt außerdem über eine kostenlose Kühleinrichtung zur Verhinderung von Überhitzung sowie einen Notstromabschalter. Darüber hinaus verfügt NORDSON MARCH AP 1000 über ein integriertes Modul-Interlock-System, das Prozessunterbrechungen verhindert. Insgesamt bietet AP-1000 Ätzer eine äußerst zuverlässige, einfach zu bedienende Plattform für eine Vielzahl von Halbleiterätzprozessen. Seine zum Patent angemeldete Kammereinheit sorgt für einheitliche Ergebnisse über mehrere Waferdurchmesser, während seine hocheffiziente Abscheidemaschine schnelle Kühlraten und präzise Ätzprofile bietet. Das AP 1000 ist zudem mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche und integrierten Sicherheitssystemen ausgestattet, die einen sicheren und effizienten Betrieb gewährleisten.